[发明专利]晶圆薄膜成型加热装置、加热盘辅助拆卸结构及拆卸方法

权利要求书

1.一种晶圆薄膜成型加热装置，其特征在于：包括一设置在真空腔体内的加热盘，所述的加热盘具有盘面以及与其连接的盘柄，连接方式采用胶接或焊接，盘柄底面上设有多个加热线缆插孔，盘柄通过腔体处设有波纹管实现密封；

还包括一安装块，所述的安装块下部为圆柱状，外围设有外螺纹，上端面上设有一圆柱槽，该凹进圆柱槽底部设有贯穿到安装块底部的通孔，盘柄底面与圆柱槽底面接触密封；该安装块与波纹管连接处通过法兰盘固定及密封；

还包括一基座，安装块与基座连接，基座上端与腔体底部连接，用于固定加热盘。

2.一种晶圆薄膜成型加热装置，其特征在于：所述的加热盘盘面为陶瓷或铝材质。

3.一种加热盘辅助拆卸结构，适用于上述加热装置，该拆卸结构固定在安装块的下部，其特征在于：包括一呈圆柱的筒状本体，该筒状本体内底部设有一长凸起的顶销，该顶销的高度与安装块3通孔的高度相互匹配。

4.如权利要求3所述的一种加热盘辅助拆卸结构，其特征在于：所述的顶销顶部高出筒状本体的上端面。

5.如权利要求3所述的一种加热盘辅助拆卸结构，其特征在于：所述的顶销顶部为圆台设计，配套在使用的加热盘盘柄底部中心有圆孔，孔内安装可更换的小钢块。

6.如权利要求3所述的一种加热盘辅助拆卸结构，其特征在于：该筒状本体的内壁上设有与安装块下部相互匹配的内螺纹。

7.如权利要求1所述的一种加热盘辅助拆卸结构，其特征在于：该筒状本体的底部外周上设有多个均匀分布的插孔，还设有与该插孔相配合的撬棒。

8.如权利要求3所述的一种加热盘辅助拆卸结构，其特征在于：所述的顶销与通孔位置匹配，沿着通孔上升运动。

9.一种拆卸加热盘的方法，基于上述安装的加热盘，采用上述的辅助拆卸结构，其特征在于：包括如下步骤，

步骤一：将加热盘底部线缆接头拆卸；

步骤二：将上述拆卸机构安装在所述安装块下部的外螺纹处；

步骤三：利用撬棒选择一插孔施力，拆卸机构顺着螺纹旋转上升一段后，再将撬棒拔除，再选择一插孔发力，以此循环，直至该顶销顶部将加热盘盘柄底部向上顶出；

步骤四：当加热盘背面远离腔体外壳一段距离后，再握住盘柄向上拔起，将加热盘拆卸。