[发明专利]一种工字型结构的静压式水平滑台

权利要求书

1.一种工字型结构的静压式水平滑台，包括滑板(2)、导轨(5)和底板(14)，其特征在于：所述导轨(5)的横截面为倒T形，所述滑板(2)设置在所述导轨(5)的上方，并通过紧固件与所述导轨(5)固定连接形成工字型结构，所述底板(14)与所述工字型结构的凹槽相互间隙配合，且所述底板(14)的上表面与所述滑板(2)的下表面以及所述底板(14)的下表面与所述导轨(5)的上表面的间隙中设有油膜层，所述工字型结构在所述油膜层上滑动。

2.根据权利要求1所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述底板(14)的内部加工有注油孔(7)，所述底板(14)的上表面和下表面分别加工有上油腔(15)和下油腔(16)，所述注油孔(7)通过管道连通所述上油腔(15)和所述下油腔(16)。

3.根据权利要求2所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述上油腔(15)和所述下油腔(16)为凹形油槽。

4.根据权利要求2所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述上油腔(15)的个数多于所述下油腔(16)。

5.根据权利要求2所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述上油腔(15)和所述下油腔(16)均匀分布在所述工字型结构的两侧。

6.根据权利要求2所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述滑板(2)的下表面与所述上油腔(15)之间形成上油膜层(12)，所述导轨(5)的上表面与所述下油腔(16)之间形成下油膜层(13)。

7.根据权利要求6所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述工字型结构的静压式水平滑台的最大承载力为所述上油膜层(12)与所述下油膜层(13)形成的压力之差。

8.根据权利要求1所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述工字型结构以m*n矩阵形式分布在所述底板(14)上，其中m≥0，n≥0，且所述m和n不同时为0，优选地，m＝n。

9.根据权利要求2所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述底板(14)上还设置有回油槽(17)，所述回油槽(17)设置在所述上油腔(15)远离所述工字型结构的一侧。

10.根据权利要求1所述的一种工字型结构的静压式水平滑台，其特征在于：所述底板(14)与电动振动台的底座连接。