[发明专利]应用于晶圆盒自动封装设备中的搬运装置

权利要求书

1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：包括能够将封装前的晶圆盒(200)搬运至入袋模组(5)上的第一搬运装置(3)以及能够将封装后的晶圆盒(200)搬运至出料平台(18)上的第二搬运装置(17)。

2.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述晶圆盒(200)具有头部以及位于所述头部下方的主体部，所述第一搬运装置(3)能够定位所述晶圆盒(200)的头部，所述第二搬运装置能够定位所述晶圆盒(200)的所述主体部。

3.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述第一搬运装置(3)包括第一夹爪机构(31)，所述晶圆盒(200)的所述头部设有凹口，所述第一夹爪机构(31)能够与所述头部的凹口配合。

4.根据权利要求3所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述第一搬运装置(3)包括与所述第一夹抓机构(31)连接的第二旋转机构(32)，所述第二旋转机构(32)能够带动所述第一夹爪机构(31)旋转。

5.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述第二搬运装置(17)包括一对第一托底机构(171)，所述一对第一托底机构(171)能够相对反向滑动和相向滑动，当所述一对第一托底机构(171)位于所述主体部上方时，所述一对托底机构(171)相对反向滑动；当所述第一托底机构(171)位于所述主体部下方后，所述一对第一托底机构(171)相向滑动。

6.根据权利要求5所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述第二搬运装置(17)包括一对第一保持机构(172)，所述一对第一托底机构(171)相对限位所述晶圆盒(200)的两侧，所述第一保持机构(172)相对限位所述晶圆盒(200)的另两侧。

7.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：还包括能够将入袋且封口后的所述晶圆盒(200)搬运至整形旋转平台(10)上的第三搬运装置(9)，所述第三搬运装置(9)能够从下方托住所述晶圆盒(200)的所述主体部。

8.根据权利要求7所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述第三搬运装置(9)包括第二托底机构(91)、位于所述第二托底机构(91)相对两侧的一对第二保持机构(92)以及一对夹持板机构(93)，所述夹持板机构(93)用以夹持并定位包装袋被封边撸平机构(78)上折的封边。

9.根据权利要求8所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：所述一对第二托底机构(91)相对限位所述晶圆盒(200)的两侧，所述一对第二保持机构(92)相对限位所述晶圆盒(200)的另两侧。

10.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的搬运装置，其特征在于：还包括将封装前的晶圆盒(200)抓取至充气平台(20)上的第四搬运装置(19)，所述第四搬运装置(19)包括第二夹爪机构(191)，所述晶圆盒(200)的所述头部设有凹口，所述第二夹爪机构(191)能够与所述头部的凹口配合。