[发明专利]消除透镜色差的激光修复装置及方法

权利要求书

1.一种激光修复装置，其特征在于，包括：

激光装置，其照射多个相互不同的波长的激光束；

狭缝，其改变所通过的激光束或光的形状；

第一照明，其照射用于确认上述狭缝所改变的激光束的形状的光；

物镜，其将穿过上述狭缝的激光束及上述第一照明的光向待修复的基板照射；

管透镜，其使激光束或光经由上述物镜向基板照射；

图像装置，其接收从上述基板反射的光而输出所接收的光的图像；以及

控制部，其分析从上述图像装置输出的光的图像而调节上述管透镜的移动，

在所分析的光的面积未超过预设基准值的情况下，上述控制部使上述管透镜移动而使其远离或靠近上述狭缝，从而调节要照射到上述基板的光的成像距离，据此使光的面积超过预设基准值，

上述控制部对上述管透镜进行控制而使上述管透镜的移动量满足下式：

管透镜的移动量＝(物镜的放大率/管透镜的放大率)²×物镜的焦距。

2.根据权利要求1所述的激光修复装置，其特征在于，

上述激光装置所照射的波段根据待修复的基板的修复方法而不同。

3.根据权利要求1所述的激光修复装置，其特征在于，

还包括第一分束器，上述第一分束器使上述激光装置所照射的激光束通过而到达上述狭缝，并将上述第一照明所照射的光向上述狭缝反射。

4.根据权利要求1所述的激光修复装置，其特征在于，

还包括第二分束器，上述第二分束器使经由上述管透镜和上述物镜而要向待修复的基板照射的光通过，并将从待修复的基板反射的光向上述图像装置反射。

5.一种激光修复方法，其特征在于，包括：

第一照射步骤，向狭缝照射用于确认上述狭缝所改变的激光束的形状的光；

第二照射步骤，将通过了上述狭缝的光经由管透镜而向待修复的基板照射；

接收光步骤，接收从待修复的基板反射的光；

判断步骤，其中，对接收到的光进行分析而判断向上述基板照射的光的面积是否超过预设基准值；以及

激光束照射步骤，在照射的光的面积超过预设基准值的情况下，经由上述管透镜照射用于修复的激光束，在照射的光的面积未超过预设基准值的情况下，使上述管透镜移动而调节上述管透镜和上述狭缝之间的距离，从而使照射到上述基板的光的面积超过预设基准值，之后，经由距离被调节的管透镜照射用于修复的激光束，

在照射的光的面积未超过预设基准值的情况下，使上述管透镜的移动量满足下式：

管透镜的移动量＝(物镜的放大率/管透镜的放大率)²×物镜的焦距。

6.根据权利要求5所述的激光修复方法，其特征在于，

在上述第一照射步骤中所照射的光具有可见光的波段，以便能够通过上述判断步骤得以分析。