[发明专利]消除透镜色差的激光修复装置及方法

说明书

本发明公开一种调节成像距离而能够消除透镜的色差的激光修复装置和方法。根据本实施例的一个方面，激光修复装置包括：激光装置，其照射激光束；狭缝，其改变所通过的激光束或光的形状；第一照明，其照射用于确认上述狭缝所改变的激光束的形状的光；物镜，其将穿过上述狭缝的激光束或光向待修复的基板照射；第一透镜，其使激光束或光经由上述物镜向基板照射；以及图像装置，其接收从上述基板反射的光。

技术领域

本发明涉及一种消除因透镜的色差(chromatic aberration of a lens)而产生的问题的激光修复装置及方法。

背景技术

记载于本部分的内容单纯用于提供对本实施例的背景信息，而并不构成现有技术。

随着显示装置技术的显著发展，与诸如液晶显示器、等离子显示器等各种方式的图像显示装置有关的技术已有大的进步。尤其是，在大型且实现高精密显示的图像显示装置等中，为了制造成本的降低及图像质量的提高而推进着高度的技术创新。对于安装在这样的各种装置上并用于显示图像而所使用的玻璃基板，也要求优于以前的尺寸质量和高精密度的表面特性。在显示装置用途等的玻璃的制造中，通过使用各种制造设备来进行玻璃基板的成型，但是通常的做法是均将无机玻璃原料加热熔融而使熔融玻璃均质化，然后成型为预定形状。此时，由于诸如玻璃原料的熔融不足、制造过程中异物的无意间的混入、或者成型装置的老化或一时的成型条件的问题、以及完成后切割成所希望的尺寸的过程中产生的缺陷等各种原因，存在玻璃基板中产生诸如表面质量异常等的缺陷。

作为修复(repair)这些缺陷的技术如下方法备受了关注，即，设置用于修复的备用布线，从而当缺陷产生时连接备用布线来修复断路，然而，这种方法具有如下问题，即，当修复布线过长时，因布线的电阻而信号电平变小，从而有对液晶面板的工作特性产生不利影响。

因此，最近备受关注的是使用激光的修复布线方法。当发现缺陷时，利用精密的激光而去除所发现的缺陷，然后通过CVD等各种方法修复所去除的部位。

由于用于去除基板上产生的缺陷的激光修复装置需要均考虑到各种缺陷的类型或发生了缺陷的各种基板中的位置而去除缺陷，因此需要生成各种波段的激光束而进行照射。所生成的激光束通过设置在激光修复装置内的透镜聚焦到在基板中所产生的缺陷部而修复缺陷。

激光修复装置内设有透镜。不是理想透镜的透镜不可避免地具有像差(aberration)。因此，当因基板的缺陷的种类、类型而用于修复缺陷的激光束的波段不同时，由于透镜的色差而要照射到基板的激光束的聚焦位置和光束轮廓形状变得不同。当激光束的聚焦位置和光束轮廓与目标值不同时，会出现无法完整地修复基板缺陷的问题。以往由于在基板内不需要精细而精密的结构，因此用于这样的修复的激光束的聚焦位置和光束轮廓的变形没有成为大问题。但是，考虑到最近的在基板内越来越需要精细且精密的结构的趋势，当用于修复的激光束的聚焦位置和光束轮廓不能满足目标值时，存在不能防止基板的质量降低的问题。因此，需要一种激光修复装置，其能够在修复基板的缺陷时精确地调节修复位置。

发明内容

(发明所要解决的问题)

本发明的一个实施例的目的在于提供一种能够校正透镜的像差而将用于修复的激光精确地照射到目标位置的激光修复装置。

(解决问题所采用的措施)

根据本发明的一个方面，提供一种激光修复装置，其包括：激光装置，其照射激光束；狭缝，其改变所通过的激光束或光的形状；第一照明，其照射用于确认上述狭缝所改变的激光束的形状的光；物镜，其将穿过上述狭缝的激光束或光向待修复的基板照射；第一透镜，其使激光束或光经由上述物镜而向基板照射；以及图像装置，其接收从上述基板反射的光。

根据本发明的一个方面，上述激光装置所照射的波段根据待修复的基板的修复方法而不同。