[发明专利]显示面板用阵列基板的制造方法

权利要求书

1.一种显示面板用阵列基板的制造方法，包括：

形成规定形状的金属膜的金属膜形成工序；

在所述金属膜的上层侧形成有绝缘性的绝缘膜的绝缘膜形成工序；及

在所述绝缘膜的上层侧形成有导电性的导电膜的导电膜形成工序，

所述显示面板用阵列基板的制造方法的特征在于，

在所述金属膜形成工序后且所述绝缘膜形成工序前，实施金属膜形状检查工序，所述金属膜形状检查工序检查所述金属膜是否形成为所述规定形状，

在所述金属膜形状检查工序中，所述金属膜被识别在所述规定形状以外的区域中形成有突出部分的情况下，在所述绝缘膜形成工序之前，实施由激光照射去除整个所述突出部分的激光照射工序。

2.根据权利要求1所述的显示面板用阵列基板的制造方法，其特征在于，所述绝缘膜是由无机材料构成的无机绝缘膜，形成在所述金属膜的正上方，

所述导电膜形成在所述绝缘膜的正上方。

3.根据权利要求2所述的显示面板用阵列基板的制造方法，其特征在于，还包括在所述导电膜的上层侧形成另一金属膜的另一金属膜形成工序；在所述另一金属膜的上层侧形成另一导电膜的另一导电膜形成工序，

在所述显示面板用阵列基板上设置：

相互交叉延伸的多个扫描线和多个信号线、

经由开关元件与所述多个信号线连接的像素电极、

维持规定的电位的公用电极，

所述开关元件具有：

与所述扫描线连接的栅极部、

与所述信号线连接的源极部、

隔着间隙与所述源极部对置配置的漏极部、

由半导体膜构成且与所述源极部、所述漏极部连接的沟道区域，

所述金属膜构成所述多个扫描线和所述栅极部，

所述导电膜构成所述像素电极，

所述另一金属膜构成所述多个信号线、所述源极部及所述漏极部，

所述另一导电膜构成公用电极。

4.一种显示面板用阵列基板的制造方法，包括：

形成规定形状的金属膜的金属膜形成工序；

在所述金属膜的上层侧形成有绝缘性的绝缘膜的绝缘膜形成工序；及

在所述绝缘膜的上层侧形成有导电性的导电膜的导电膜形成工序，

所述显示面板用阵列基板的制造方法的特征在于，

在所述金属膜形成工序后且所述绝缘膜形成工序前，实施金属膜形状检查工序，所述金属膜形状检查工序检查所述金属膜是否形成为所述规定形状，

在所述金属膜形状检查工序中，所述金属膜被识别在所述规定形状以外的区域中形成有突出部分的情况下，在所述绝缘膜形成工序之前，实施通过激光照射去除所述突出部分的基部，形成与所述金属膜中形成为所述规定形状的规定形状部分电隔离的分离部分的激光照射工序。

5.根据权利要求4所述的显示面板用阵列基板的制造方法，其特征在于，所述绝缘膜是由无机材料构成的无机绝缘膜，形成在所述金属膜的正上方，

所述导电膜形成在所述绝缘膜的正上方。

6.根据权利要求5所述的显示面板用阵列基板的制造方法，其特征在于，还包括在所述导电膜的上层侧形成另一金属膜的另一金属膜形成工序；在所述另一金属膜的上层侧形成另一导电膜的另一导电膜形成工序，

在所述显示面板用阵列基板上设置：

相互交叉延伸的多个扫描线和多个信号线、

经由开关元件与所述多个信号线连接的像素电极、

维持规定的电位的公用电极，

所述开关元件具有：

与所述扫描线连接的栅极部、

与所述信号线连接的源极部、

隔着间隙与所述源极部对置配置的漏极部、

由半导体膜构成且与所述源极部、所述漏极部连接的沟道区域，

所述金属膜构成所述多个扫描线和所述栅极部，

所述导电膜构成所述像素电极，

所述另一金属膜构成所述多个信号线、所述源极部及所述漏极部，

所述另一导电膜构成公用电极。