[发明专利]图案描绘方法

权利要求书

1.一种图案描绘方法，一边沿着副扫描方向搬送被照射体、一边使来自光源装置的光束呈点状地聚光于上述被照射体上，使聚光后的光点沿着于与上述副扫描方向正交的主扫描方向延伸的扫描线进行主扫描，藉此在上述被照射体上描绘既定图案，其包含如下步骤：

将来自上述光源装置的第1光束从第1方向朝旋转多面镜的1个反射面投射；

将来自上述光源装置的第2光束从与上述第1方向不同的第2方向朝上述旋转多面镜的其他反射面投射；

通过上述旋转多面镜的旋转，对射入至上述旋转多面镜的不同反射面而反射的上述第1光束及上述第2光束进行偏向扫描；

使由上述旋转多面镜反射的上述第1光束聚光并作为第1光点而投射至第1扫描线上；

使由上述旋转多面镜反射的上述第2光束聚光并作为第2光点而投射至第2扫描线上；以及

以旋动中心轴为中心，使上述第1扫描线与上述第2扫描线旋动，上述旋动中心轴相对于上述被照射体的面垂直，且设定于上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点之间。

2.如权利要求1所述的图案描绘方法，其中，

为了使应描绘于上述被照射体上的上述既定图案倾斜而使上述第1扫描线与上述第2扫描线旋动，或者，当重新将上述既定图案重叠于上述被照射体上所预先形成的下层图案上以进行描绘时，对应于上述下层图案的整体或一部分的斜度，使上述第1扫描线与上述第2扫描线旋动。

3.如权利要求1或2所述的图案描绘方法，其中，

由上述旋转多面镜反射的上述第1光束通过第1投射光学系统，作为上述第1光点而聚光至上述第1扫描线上；

由上述旋转多面镜反射的上述第2光束通过第2投射光学系统，作为上述第2光点而聚光至上述第2扫描线上；

上述旋转多面镜、上述第1投射光学系统、及上述第2投射光学系统作为被一体地保持的描绘单元而构成，且可使该描绘单元绕上述旋动中心轴旋动。

4.如权利要求1或2所述的图案描绘方法，其中，

上述旋动中心轴，设定为通过连接上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点的线段的中心点。

5.如权利要求1或2所述的图案描绘方法，其中，

上述第1扫描线与上述第2扫描线配置为，在上述副扫描方向上彼此分隔，且在上述主扫描方向上彼此邻接或一部分重叠。

6.如权利要求3所述的图案描绘方法，其中，

上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统各自包含利用上述旋转多面镜而偏向的上述第1及第2光束的上述主扫描方向上的偏向角度、与上述主扫描方向上的上述第1及第2光束在上述被照射体上的投射位置成为比例关系的远心f-θ透镜系统。

7.如权利要求6所述的图案描绘方法，其中，

上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统各自包含配置于上述f-θ透镜系统与上述旋转多面镜之间的反射构件；

该反射构件，在通过上述旋转多面镜而将上述第1及第2光束偏向的面内，使上述光束弯折。

8.如权利要求7所述的图案描绘方法，其包含如下步骤：

对上述主扫描方向上的上述第1光束的强度变化、及上述主扫描方向上的上述第2光束的强度变化进行调整，上述主扫描方向上的上述第1光束的强度变化通过上述第1光束往上述第1投射光学系统的上述反射构件射入的入射角的变化而产生，上述主扫描方向上的上述第2光束的强度变化通过上述第2光束往上述第2投射光学系统的上述反射构件射入的入射角的变化而产生。

9.如权利要求1或2所述的图案描绘方法，其中，

上述第1光束由上述旋转多面镜的第1反射面反射，上述第2光束由相对于上述第1反射面绕上述旋转多面镜的旋转轴旋转90度或180度的第2反射面反射。