[发明专利]铌旋转靶材的成型方法在审
| 申请号： | 202010604811.8 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111996503A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 宿康宁;汪凯;杜领会;黄浩;李小平;李兆博;李积贤;任志东;张静 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B21B19/04;B21B37/00;B21B37/46 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 张芳 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 成型 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种铌旋转靶材的成型方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)取圆柱体铌锭，要求纯度≥99.9％，直径Φ≥190mm；
(2)将铌锭锻造打圆，控制加工率20％-30％，打圆后的直径Φ≥140mm；
(3)车削表面缺陷，车削后的直径Φ≥130mm；
(4)在得到的铌锭中心预制直径15-45mm导向孔，导向孔位于铌锭中心，并且偏心度≤3mm，并且导向孔为与铌锭长度相同的通孔；
(5)将得到的铌锭加热至80-120℃，涂附高温防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；
(6)将得到的铌锭加热至1000℃-1450℃，保温60-120min；
(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔，穿孔送进角α控制在130-180度、入口锥角β1控制在20-50度，轧辊转速ηg控制在120-140转/分，得到管坯；
(8)对得到的管坯进行校直即可。
2.如权利要求1所述的铌旋转靶材的成型方法，其特征在于：步骤(8)中校直具体是首先用多棍校直机保证直线度不低于0.5mm/m，然后采用静压式冷校直的方法保证直线度不低于0.8mm/3米。
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