[发明专利]铌旋转靶材的成型方法

说明书

本发明涉及一种铌旋转靶材的成型方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取圆柱体铌锭，要求纯度≥99.9％，直径Φ≥190mm；(2)将铌锭锻造打圆，控制加工率20％‑30％，打圆后的直径Φ≥140mm；(3)车削表面缺陷，车削后的直径Φ≥130mm；(4)在得到的铌锭中心预制直径15‑45mm导向孔；(5)将得到的铌锭加热至80‑120℃，涂附高温防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；(6)将得到的铌锭加热至1000℃‑1450℃，保温；(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔；(8)对得到的管坯进行校直即可。此方法生产效率高，材料利用率高，内部组织均匀，保证了旋转铌靶更高的使用要求。

技术领域

本发明涉及一种铌旋转靶材的成型方法。

背景技术

随着电子产品体积不断缩小及微型化，因此对控屏厚度要求也越来越薄、体积越来越小，这对旋转铌靶材也提出了更高的要求。之前所生产旋转铌靶材的关键成型工序采用热挤压的方式进行，而这种方法生产的旋转铌靶收率低，晶粒组织虽能达到要求但不均匀，生产成本高。

发明内容

本发明的目的是提供一种铌旋转靶材的成型方法，能够获得表面质量优秀、内部组织细小均匀的旋转铌靶材。

一种铌旋转靶材的成型方法，其特别之处在于，包括如下步骤：

(1)取圆柱体铌锭，要求纯度≥99.9％，直径Φ≥190mm；

(2)将铌锭锻造打圆，控制加工率20％-30％，打圆后的直径Φ≥140mm；

(3)车削表面缺陷，车削后的直径Φ≥130mm；

(4)在得到的铌锭中心预制直径15-45mm导向孔，导向孔位于铌锭中心，并且偏心度≤3mm，并且导向孔为与铌锭长度相同的通孔；

(5)将得到的铌锭加热至80-120℃，涂附高温防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；

(6)将得到的铌锭加热至1000℃-1450℃，保温60-120min；

(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔，穿孔送进角α控制在130-180度、入口锥角β1控制在20-50度，轧辊转速ηg控制在120-140转/分，得到管坯；

(8)对得到的管坯进行校直即可。

步骤(8)中校直具体是首先用多棍校直机保证直线度不低于0.5mm/m，然后采用静压式冷校直的方法保证直线度不低于0.8mm/3米。

本发明所生产的旋转铌靶材主要应用于网络通讯技术及先进触控屏技术，本发明将采用斜轧穿孔的方法实现旋转铌靶的成型加工，此方法生产效率高，材料利用率高，所得到的产品内部组织均匀，保证了旋转铌靶更高的使用要求。

附图说明

附图1是本发明实施例1得到的靶材内部组织纵向结构显微图；

附图2是本发明实施例1得到的靶材内部组织横向结构显微图。

具体实施方式

实施例1：

本发明方法工艺步骤如下：铌锭→锻造→.车削表面→预制导向孔→表面防氧化层涂附→.加热→穿孔→热校直。

铌锭：纯度99.9％：Φ195mm；

锻造：将上述铌锭锻造打圆,保证加工率20％-30％，Φ145mm；

车削表面：依据所生产产品规格，车削表面缺陷，Φ135mm；

预制导向孔：在锭材中心预制Φ30)导向孔，导向孔必须位于锭材中心，不得偏心，偏心度≤3mm。