[发明专利]真空吸附式圆形末端夹持器在审

专利信息
申请号: 202010606252.4 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN111668152A 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 申请(专利权)人: 昀智科技(北京)有限责任公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京中索知识产权代理有限公司 11640 代理人: 胡大成
地址: 102300 北京市门头沟区莲石*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 真空 吸附 圆形 末端 夹持
【权利要求书】:

1.一种真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,包括:

本体(1);

法兰(2),所述法兰(2)位于本体(1)一端;和

吸盘(3),所述吸盘(3)位于本体(1)另一端,并通过本体(1)与法兰(2)呈一体结构,吸盘(3)上开设有放射状的沟槽(31)。

2.根据权利要求1所述的真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,所述沟槽(31)包括

环形放射状的第一沟槽(311);

和径向直线放射状的第二沟槽(312),所述第二沟槽(312)与第一沟槽(311)相交。

3.根据权利要求2所述的真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,所述第二沟槽(312)将第一沟槽(311)均分。

4.根据权利要求1所述的真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,所述沟槽(31)上开设有抽气孔(313)。

5.根据权利要求1所述的真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,所述法兰(2)、本体(1)和吸盘(3)内部分别开设有气道(4)。

6.根据权利要求1所述的真空吸附式圆形末端夹持器,其特征在于,所述气道(4)一端与抽气孔(313)底部相通,另一端与法兰(2)中心位置上开设的出气孔(21)底部相通。

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