[发明专利]水路检测系统和水路检测方法在审
申请号: | 202010608513.6 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111811798A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 王建军;朱青;汪佳;施政;黄保强 | 申请(专利权)人: | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | G01M13/00 | 分类号: | G01M13/00;G01M3/28 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 蔡梦媚 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水路 检测 系统 方法 | ||
1.一种水路检测系统(100),其特征在于,待检测水路(101)具有进口(101a)和出口(101b),所述水路检测系统(100)用于检测待检测水路(101)且包括:
供液装置(1),所述供液装置(1)用于提供检测液体;
调压装置(2),所述调压装置(2)用于调节所述供液装置(1)提供的所述检测液体的压力;
压力检测组件(3),所述压力检测组件(3)包括第一压力检测装置(31)和第二压力检测装置(32),所述第一压力检测装置(31)和第二压力检测装置(32)适于分别设在所述进口(101a)和所述出口(101b)处,以监测所述进口(101a)和所述出口(101b)处的检测液体的压力;
流量检测装置(4),所述流量检测装置(4)适于设在待检测水路(101)的所述出口(101b)处,以监测所述出口(101b)处的流量;
采集装置(5),所述采集装置(5)用于采集所述压力检测组件(3)和所述流量检测装置(4)的监测数据;
信息处理装置(6),所述信息处理装置(6)与所述采集装置(5)通信连接,所述信息处理装置(6)用于对所述采集装置(5)采集的数据进行处理以得到实测关系曲线,且适于通过实测关系曲线和标准关系曲线的对比分析得到检测结果,其中,所述实测关系曲线为所述进口(101a)和所述出口(101b)之间的压力差和所述出口(101b)处的流量之间的关系曲线。
2.根据权利要求1所述的水路检测系统(100),其特征在于,所述调压装置(2)包括:
变量泵(21),所述变量泵(21)适于设在所述供液装置(1)与所述进口(101a)之间;
调速器(22),所述调速器(22)与所述变量泵(21)相连以调节所述变量泵(21)的供液量。
3.根据权利要求1所述的水路检测系统(100),其特征在于,还包括:
回流管路(7),所述回流管路(7)的一端与所述供液装置(1)相连,所述回流管路(7)的另一端适于与所述出口(101b)连通,所述第二压力检测装置(32)设在所述回流管路(7)上。
4.根据权利要求1所述的水路检测系统(100),其特征在于,还包括:
电源装置(8),所述电源装置(8)与所述调压装置(2)、所述压力检测组件(3)和所述流量检测装置(4)分别电连接。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的水路检测系统(100),其特征在于,所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线,其中,所述标准水路具有与所述待检测水路(101)对应的标准结构。
6.一种水路检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:向待检测水路(101)通入检测液体;
S2:监测所述待检测水路(101)的进口(101a)和出口(101b)之间的压力差,并监测所述待检测水路(101)的所述出口(101b)处的流量,以生成所述进口(101a)和所述出口(101b)之间的压力差与所述出口(101b)处的流量之间的实测关系曲线;
S3:将所述实测关系曲线与标准关系曲线进行对比,以判断所述待检测水路(101)是否合格。
7.根据权利要求6所述的水路检测方法,其特征在于,所述标准关系曲线为标准水路的进液口和所述标准水路的出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的关系曲线,其中,所述标准水路具有与所述待检测水路(101)对应的标准结构,
还包括以下步骤:
S4:加工出所述标准水路,并向所述标准水路通入检测液体;
S5:监测所述标准水路的进液口和出液口之间的压力差,并监测所述标准水路的所述出液口处的流量,以生成所述进液口和所述出液口之间的压力差与所述出液口处的流量之间的所述标准关系曲线。
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