[发明专利]一种检测设备及检测设备的检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：探测单元，所述探测单元被配置为对待测试样(A)进行第一检测和第二检测，所述第一检测包括对待测试样(A)的边缘进行扫描检测、以确定所述待测试样(A)的特征点位置与预定位置的偏离状态，所述第二检测包括对所述待测试样(A)进行检测，获取待测试样(A)的待测目标的物理信息。

2.根据权利要求1所述检测设备，其特征在于，所述物理信息包括待测目标相对于所述预定位置的第一位置信息；

所述检测设备还包括：处理单元，被配置为根据所述偏离状态和所述第一位置信息获取第二位置信息，所述第二位置信息为所述待测目标相对于所述特征点位置之间的相对位置关系。

3.根据权利要求2所述检测设备，其特征在于，所述处理单元包括：调节单元和补偿单元中的一者或两者组合；

所述调节单元被配置为所述第二检测之前根据所述偏离状态对所述待测试样(A)的位置进行调节，使所述特征点位置处于所述预定位置，所述处理单元将所述调节单元调节之后获取的所述第一位置信息作为所述第二位置信息；

所述补偿单元被配置为根据所述偏离状态对所述第一位置信息进行补偿，获取所述第二位置信息。

4.根据权利要求1所述检测设备，其特征在于，所述待测目标在所述待测试样(A)中具有预设目标位置关系；

还包括：处理单元，被配置为根据所述预设目标位置关系及偏离状态获取测量位置，所述测量位置为所述待测目标与所述预定位置之间的相对位置关系；

对所述待测试样(A)的待测目标进行所述第二检测包括：所述探测单元根据所述测量位置对所述待测目标进行定位，并在定位之后对所述待测目标进行检测，获取所述待测目标的物理信息。

5.根据权利要求4所述检测设备，其特征在于，所述处理单元还包括：调节单元和补偿单元中的一者或两者组合；

所述调节单元被配置为所述第二检测之前根据所述偏离状态对所述待测试样(A)的位置进行调节，使所述特征点位置处于所述预定位置；

所述补偿单元被配置为根据所述偏离状态对所述预定位置进行补偿，获取所述测量位置。

6.根据权利要求1所述检测设备，其特征在于，所述探测单元包括探测装置和光源装置，所述光源装置用于向所述待测试样(A)提供检测光，所述检测光经所述待测试样(A)形成信号光，所述探测装置用于收集所述信号光，根据所述信号光确定所述待测试样(A)的特征点位置与预定位置的偏离状态及待测目标的物理信息。

7.根据权利要求6所述检测设备，其特征在于，所述探测装置和所述光源装置均设置在沿所述待测目标的法向方向，或者所述探测装置和所述光源装置关于所述待测目标的法线对称设置，或者所述探测装置和所述光源装置关于所述待测目标的法线非对称设置。

8.根据权利要求6所述检测设备，其特征在于，所述探测装置包括多个探测通道，所述探测通道被配置为接收不同角度的信号光；所述多个探测装置中一个或多个被配置为对所述待测试样(A)边缘进行所述第一检测。

9.根据权利要求6所述检测设备，其特征在于，所述探测装置均包括探测器和镜头，所述探测器为线阵探测器。

10.根据权利要求6所述检测设备，其特征在于，根据所述信号光获取所述待测试样(A)边缘上至少三点的位置关系，根据所述位置关系获取特征点位置与所述预定位置的偏离状态；或者所述待测试样(A)的待测目标的物理信息。

11.根据权利要求1所述检测设备，其特征在于，所述待测试样(A)的边缘为圆环形，所述特征点为所述待测试样(A)边缘的圆心。