[发明专利]掩膜片和掩膜版在审
| 申请号： | 202010614323.5 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111809146A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 张丁成;王水俊;李伟丽;范波涛;孙飞 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜片 掩膜版 | ||
1.一种掩膜片，其特征在于，包括：
蒸镀区，所述蒸镀区具有多个蒸镀开口；
非蒸镀区，所述非蒸镀区与所述蒸镀区邻接设置，所述非蒸镀区划分有阻隔区与焊接区，所述阻隔区具有多个阻隔开口，且多个所述阻隔开口位于所述焊接区与所述蒸镀区之间。
2.根据权利要求1所述的掩膜片，其特征在于，所述蒸镀区包括有效蒸镀区和虚拟蒸镀区，所述阻隔区位于所述虚拟蒸镀区与所述焊接区之间。
3.根据权利要求1所述的掩膜片，其特征在于，所述蒸镀区为矩形，所述非蒸镀区邻接于所述蒸镀区的短边，且相对于所述蒸镀区对称设置。
4.根据权利要求3所述的掩膜片，其特征在于，所述蒸镀区的长边方向为第一方向，所述蒸镀区的短边方向为第二方向，所述蒸镀开口沿第一方向延伸，所述阻隔开口沿第一方向延伸。
5.根据权利要求4所述的掩膜片，其特征在于，所述阻隔区内沿所述第一方向排布有多列所述阻隔开口，任意相邻两列的所述阻隔开口的中心错位排布。
6.根据权利要求4所述的掩膜片，其特征在于，所述阻隔区内沿所述第二方向排布有多行所述阻隔开口，所述阻隔开口的行间距从所述阻隔区的中心向两端逐渐增大。
7.根据权利要求4所述的掩膜片，其特征在于，所述阻隔区内沿所述第二方向排布有多行所述阻隔开口，每一行所述阻隔开口的宽度从所述阻隔区的中心向两端逐渐减小。
8.根据权利要求4所述的掩膜片，其特征在于，所述阻隔区与所述蒸镀区沿所述第二方向的长度相等。
9.根据权利要求1所述的掩膜片，其特征在于，所述多个阻隔开口的形状包括长条形、椭圆形、菱形中的至少一种；
优选地，所述阻隔开口的形状为长条形，所述长条形的长宽比范围为5:1-4:1。
10.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜框架以及如权利要求1-9中任一项所述的掩膜片，所述掩膜框架与所述掩膜片通过所述焊接区固定。
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