[发明专利]掩膜片和掩膜版在审
申请号: | 202010614323.5 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111809146A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 张丁成;王水俊;李伟丽;范波涛;孙飞 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 方晓燕 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 膜片 掩膜版 | ||
本发明提供一种掩膜片,包括蒸镀区和非蒸镀区,所述蒸镀区具有多个蒸镀开口;所述非蒸镀区与所述蒸镀区邻接设置,所述非蒸镀区划分有阻隔区与焊接区,所述阻隔区具有多个阻隔开口,且多个所述阻隔开口位于所述焊接区与所述蒸镀区之间。本发明实施例通过在蒸镀区和焊接区之间设置阻隔区,在阻隔区进一步设置多个阻隔开口,可以在焊接过程中,焊接点将大褶皱打散成多个小褶皱时,阻挡小褶皱向蒸镀区延伸,一定程度上缓解焊接过程中小褶皱向蒸镀区延伸对对位精度造成的影响,提升蒸镀效果。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体而言,涉及一种掩膜片和一种掩膜版。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示具有自发光、不需要背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广等优异特性,被认为是下一代的平面显示器新型应用技术。
OLED的全彩显示一般包括R(红)G(绿)B(蓝)子像素独立发光、或白光OLED结合彩色滤光膜等方式。其中,RGB子像素独立发光是目前采用最多的彩色模式,其是利用子像素单元中的有机发光材料独立发光。
目前,有机发光材料层一般都是通过对有机材料进行真空蒸发镀膜形成。其中,对于RGB子像素独立发光的OLED,由于每个RGB子像素单元采用不同的有机发光材料,因而RGB子像素单元的有机发光层需要分别进行蒸镀。
目前,显示基板通常采用掩膜装置来蒸镀像素显示区域的有机发光层。其中,掩膜装置包括掩膜框架和焊接在掩膜框架上的掩膜片。在焊接掩膜片的过程中,由于掩膜片较薄,且掩膜片上设置有用于蒸镀的图案,因此,蒸镀区的褶皱会对显示效果造成影响。
发明内容
本发明提供一种掩膜片和掩膜版。
第一方面,本发明实施例提供一种掩膜片,其特征在于,包括:
蒸镀区,所述蒸镀区具有多个蒸镀开口;
非蒸镀区,与所述蒸镀区邻接设置,所述非蒸镀区划分有阻隔区与焊接区,所述阻隔区具有多个阻隔开口,且多个所述阻隔开口位于所述焊接区与所述蒸镀区之间。
进一步地,所述蒸镀区包括有效蒸镀区和虚拟蒸镀区,所述阻隔区位于所述虚拟蒸镀区与所述焊接区之间。
进一步地,所述蒸镀区为矩形,所述非蒸镀区邻接于所述蒸镀区的短边,且相对于所述蒸镀区对称设置。
进一步地,所述蒸镀区的长边方向为第一方向,所述蒸镀区的短边方向为第二方向,所述多个蒸镀开口沿第一方向延伸,所述阻隔区沿第二方向延伸。
进一步地,所述阻隔区内沿所述第一方向排布有多列所述阻隔开口,任意相邻两列的所述阻隔开口的中心错位排布。
进一步地,所述阻隔区内沿所述第二方向排布有多行所述阻隔开口,所述阻隔开口的行间距从所述阻隔区的中心向两端逐渐增大。
进一步地,所述阻隔区内沿所述第二方向排布有多行所述阻隔开口,每一行所述阻隔开口的宽度从所述阻隔区的中心向两端逐渐减小。
进一步地,所述阻隔区与所述蒸镀区沿所述第二方向的长度相等。
进一步地,所述多个阻隔开口的形状包括长条形、椭圆形、菱形中的至少一种;
进一步地,所述阻隔开口的形状为长条形,所述长条形的长宽比范围为5:1-4:1。
第二方面,本发明实施例还提供一种掩膜版,其特征在于,包括掩膜框架以及如上任一项所述的掩膜片,所述掩膜框架与所述掩膜片通过所述焊接区固定。
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