[发明专利]一种晶圆光刻设备

权利要求书

1.一种晶圆光刻设备，其结构包括主体(1)、控制面板(2)、进料口(3)、光刻块(4)、显影装置(5)，所述主体(1)的前端设有控制面板(2)，所述进料口(3)设置在主体(1)的左侧，所述光刻块(4)位于主体(1)的一端，所述显影装置(5)设置在主体(1)的另一端，其特征在于：

所述显影装置(5)包括光蚀剂回收箱(51)、晶圆收集箱(52)、传送带(53)、载盘(54)、滑动杆(55)、喷料装置(56)，所述光蚀剂回收箱(51)安装在显影装置(5)的底部一端，所述晶圆收集箱(52)安装在显影装置(5)的底部另一端，所述传送带(53)设置在光蚀剂回收箱(51)的正上方，所述载盘(54)设有十个以上，且横向安装在传送带(53)的上端，所述滑动杆(55)嵌固在显影装置(5)的顶部两端，所述喷料装置(56)安装在滑动杆(55)中，且与滑动杆(55)螺纹配合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述喷料装置(56)包括横向滑动块(561)、限位块(562)、旋转块(563)、螺纹杆(564)、通料管(565)、出料装置(566)，所述滑动块(561)的前端正中间设有限位块(562)，所述旋转块(563)安装在滑动块(561)的底部前端，所述螺纹杆(564)垂直安装在限位块(562)与旋转块(563)之间，所述通料管(565)连接于螺纹杆(564)的顶部，所述出料装置(566)焊接在螺纹杆(564)的底部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述出料装置(566)包括通料槽(a1)、喷料头(a2)、凹槽(a3)、动力喷头(a4)、刷渣装置(a5)，所述通料槽(a1)设置在出料装置(566)的内部，所述喷料头(a2)嵌固在通料槽(a1)的底部，所述凹槽(a3)设置在通料槽(a1)的侧端，所述动力喷头(a4)安装在凹槽(a3)的顶部，所述刷渣装置(a5)卡合在凹槽(a3)的水平两侧。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述刷渣装置(a5)包括挡料装置(a51)、转杆(a52)、刷子(a53)，所述挡料装置(a51)设置在刷渣装置(a5)的侧端，所述转杆(a52)连接于挡料装置(a51)的侧端，所述刷子(a53)安装在转杆(a52)的侧端。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述挡料装置(a51)包括载体(b1)、挡料板(b2)、集料槽(b3)、盖板(b4)、排料头(b5)，所述载体(b1)为圆柱状，所述挡料板(b2)设有四个，且均匀环绕于载体(b1)排列，所述集料槽(b3)设置在挡料板(b2)的内部，所述盖板(b4)卡合在集料槽(b3)的上端，所述排料头(b5)安装在集料槽(b3)的末端。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述盖板(b4)包括集料孔(b41)、进料头(b42)、安装槽(b43)、复位弹簧(b44)、卡块(b45)，所述集料孔(b41)设有五个以上，且横向在列在盖板(b4)的内部，所述进料头(b42)设有五个以上，分别安装在集料孔(b41)的上端，所述安装槽(b43)设有两个，分别设于盖板(b4)的左右两侧，所述复位弹簧(b44)设有四个，且分别嵌固在安装槽(b43)的内侧，所述卡块(b45)设有两个，卡合在安装槽(b43)中，且与复位弹簧(b44)活动配合。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆光刻设备，其特征在于：所述进料头(b42)包括进料体(c1)、斜板(c2)、凸块(c3)、穿孔(c4)，所述进料体(c1)的内侧四周设有斜板(c2)，所述斜板(c2)与水平面之间的夹角为15度，所述凸块(c3)设有八个以上，且分为两组嵌固在斜板(c2)上，所述穿孔(c4)设置在四个斜板(c2)的正中间。