[发明专利]一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法有效
申请号: | 202010619205.3 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111739902B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 李坤;孙雷蒙;杨丹 | 申请(专利权)人: | 华引芯(武汉)科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62 |
代理公司: | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人: | 张宇娟 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 微型 发光 单元 转移 装置 方法 | ||
1.一种用于微型发光单元的转移装置,其特征在于,所述转移装置与固晶机的固晶臂配合,所述固晶臂具有一开口和与所述开口连通的容置腔,所述转移装置包括:
UV面光源,所述UV面光源置于所述固晶臂的所述容置腔内,所述UV面光源的发光方向朝向所述开口,所述UV面光源与所述固晶臂控制系统电连接;
玻璃压板,所述玻璃压板固定在所述开口上,所述玻璃压板的上环形布置有多个真空孔,所述真空孔与所述固晶臂的真空气路相连;以及
置样板,所述置样板分为环形连接板和UV膜,所述环形连接板用于真空吸附在所述玻璃压板上,所述UV膜位于所述环形连接板的中空区域内,所述UV面光源照射在所述UV膜上,所述UV膜用于固定和释放所述微型发光单元,所述固定为所述UV膜利用粘性固定所述微型发光单元,所述释放为所述UV膜通过所述UV面光源照射丧失粘性,释放所述微型发光单元。
2.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述UV面光源平行于所述固晶臂横截面布置,所述UV面光源由多个UV发光单元组成,所述多个UV发光单元呈等间距交错排布。
3.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述玻璃压板具有凸起,所述凸起的凸起方向与远离所述固晶臂的方向一致,所述环形连接板的中空区域与所述凸起匹配。
4.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,所述玻璃压板上具有定位针,所述环形连接板上具有对应的定位孔。
5.根据权利要求1所述的转移装置,其特征在于,UV膜为聚酯薄膜。
6.一种用于微型发光单元的转移方法,适用于权利要求1~5任一项所述的转移装置,其特征在于,所述转移方法包括:
吸取置样板;
将所述置样板移动至固晶区;
对所述置样板上的微型发光单元进行固晶操作;
开启UV面光源,对所述置样板的UV膜进行照射;
玻璃压板上移,完成所述微型发光单元与所述置样板的分离。
7.根据权利要求6所述的转移方法,其特征在于,所述UV面光源的UV波段为365~385nm,对所述UV膜的照射时间为5~40s。
8.根据权利要求6所述的转移方法,其特征在于,所述吸取置样板包括:
玻璃压板移动到取样区;
下移所述玻璃压板,当所述玻璃压板接触到所述置样板时,打开真空开关,通过所述玻璃压板上的真空孔吸取置样板。
9.根据权利要求6-8任一项所述的转移方法,其特征在于,在吸取置样板之前还包括置样板的制作,所述置样板的制作方法包括:
制作环形连接板;
将UV膜无粘性的一面固定在所述环形连接板上;
将所述微型发光单元排布在UV膜有粘性的一面上。
10.根据权利要求6-8任一项所述的转移方法,其特征在于,在对所述置样板上的微型发光单元进行固晶操作之前还包括基板的制作,所述基板的制作方法包括:
对基板进行清洗和干燥;
在基板上制作连接孔、正面焊盘及背面焊盘;
在所述正面焊盘上开设凹槽,所述凹槽的中部深度为3~5μm,所述凹槽的两侧呈曲面或斜面;
在所述正面焊盘上印刷助焊剂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的