[发明专利]一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法有效

专利信息
申请号: 202010619205.3 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111739902B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 李坤;孙雷蒙;杨丹 申请(专利权)人: 华引芯(武汉)科技有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 张宇娟
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 微型 发光 单元 转移 装置 方法
【说明书】:

发明公开了一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法,属于光电子技术领域。在实现时,先将微型发光单元按要求布置在置样板的UV膜上,由于UV膜有一定的粘性,可以对微型发光单元起到固定作用。通过固晶臂的真空气路将置样板吸附在玻璃压板上,并将置样板转移到固晶区进行固晶。待固晶操作完成,通过UV面光源的照射,使得UV膜失去粘性,完成对微型发光单元释放。该转移装置可以与常规固晶机的固晶臂配合使用,即可完成微型发光单元的转移,改装成本低,操作简便,转移效率高。同时,由于先进行微型发光单元的固晶再进行微型发光单元的释放,使得微型发光单元是在固定的状态下进行固晶,从而增加了微型发光单元固定的准确性和可靠性。

技术领域

本发明涉及光电子技术领域,特别涉及一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法。

背景技术

显示屏最直观的体验就是画质和显示效果,近年来,各种户外与室内显示应用场所皆对显示屏的分辨率、对比度和色彩管理等规格提出更高的要求,而传统LCD屏无法满足需求,同时也陷入了激烈的价格战中。因此,行业厂商转而开发Mini/Micro LED等新型显示技术。

Mini LED是50-200μm尺寸LED晶体的应用,这种更小的晶体颗粒,几乎是传统尺寸LED晶体颗粒原料耗费的十分之一。更小颗粒的Mini LED虽说节约了上游成本,缩小了下游终端像素间距指标,可实现0.2~0.9mm像素颗粒的极小间距显示屏,但这也意味着为中游封装技术带来了更高的技术挑战,而新一代Mini LED产品要成功落地必须克服这个挑战。

Mini LED微型发光单元的巨量转移方式有多种,目前主要采用的是抓放技术类。抓放技术主要是通过静电力、范德华力、电磁力等吸附微型发光单元进行转移,但由于需要产生这些吸附力,因此通常都要采用新的专用设备才能实现,使得转移成本高,工艺复杂,不利于量产化进程。

发明内容

为了解决转移成本高,工艺复杂的问题,本发明实施例提供了一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法。所述技术方案如下:

一方面,本发明实施例提供了一种用于微型发光单元的转移装置,所述转移装置与固晶机的固晶臂配合,所述固晶臂具有一开口和与所述开口连通的容置腔,所述转移装置包括:

UV面光源,所述UV面光源置于所述固晶臂的所述容置腔内,所述UV面光源的发光方向朝向所述开口,所述UV面光源与所述固晶臂控制系统电连接;

玻璃压板,所述玻璃压板固定在所述开口上,所述玻璃压板的上环形布置有多个真空孔,所述真空孔与所述固晶臂的真空气路相连;以及

置样板,所述置样板分为环形连接板和UV膜,所述环形连接板用于真空吸附在所述玻璃压板上,所述UV膜位于所述环形连接板的中空区域内,所述UV膜用于固定和释放所述微型发光单元。

另一方面,本发明实施例还提供了一种用于微型发光单元的转移方法,所述方法包括:

吸取置样板;

将所述置样板移动至固晶区;

对所述置样板上的微型发光单元进行固晶操作;

开启UV面光源,对所述置样板的UV膜进行照射;

所述玻璃压板上移,完成所述微型发光单元与所述置样板的分离。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括:

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