[发明专利]衬底处理系统及衬底搬送方法

权利要求书

1.一种衬底处理系统，其特征在于，具备：

移载传送区块，设置着用于载置能够收纳衬底的载体的载体载置台；

第1处理装置；及

第2处理装置；

所述第1处理装置、所述移载传送区块及所述第2处理装置以该顺序在水平方向上呈直线状连结，

所述移载传送区块配置在所述第1处理装置与所述第2处理装置的中间，在内部具备载置多个衬底的衬底缓冲区，

所述移载传送区块从载置在所述载体载置台的载体取出衬底，将取出的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述第1处理装置从所述衬底缓冲区接收衬底，对接收的衬底进行规定处理，将已利用所述第1处理装置进行过处理的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述第2处理装置从所述衬底缓冲区接收由所述第1处理装置搬送到所述衬底缓冲区的衬底，对接收的衬底进行规定处理，将已利用所述第2处理装置进行过处理的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述移载传送区块将已利用所述第2处理装置进行过处理的衬底从所述衬底缓冲区送回载置在所述载体载置台的所述载体。

2.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，

所述第1处理装置具备对衬底进行第1处理的第1处理区块，

所述第2处理装置具备对衬底进行第2处理的第2处理区块，

所述第1处理区块、所述移载传送区块及所述第2处理区块以该顺序在水平方向上呈直线状连结，

所述移载传送区块从载置在所述载体载置台的载体取出衬底，将取出的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述第1处理区块从所述衬底缓冲区接收衬底，对接收的衬底进行第1处理，将进行过所述第1处理的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述第2处理区块从所述衬底缓冲区接收由所述第1处理区块搬送到所述衬底缓冲区的衬底，对接收的衬底进行第2处理，将进行过所述第2处理的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述移载传送区块将进行过所述第2处理的衬底从所述衬底缓冲区送回载置在所述载体载置台的所述载体。

3.根据权利要求2所述的衬底处理系统，其特征在于，

所述移载传送区块进而于内部具备移载传送用衬底搬送机构，

所述移载传送用衬底搬送机构从载置在所述载体载置台的载体取出衬底，将取出的衬底搬送到所述衬底缓冲区，

所述移载传送用衬底搬送机构从所述衬底缓冲区接收进行过所述第2处理的衬底，将接收的衬底送回载置于所述载体载置台的所述载体。

4.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，

所述第2处理装置具备：第2处理区块，连结于所述移载传送区块、对衬底进行第2处理；及接口区块，连结于所述第2处理区块，对外部装置进行衬底的搬出及搬入；

所述第2处理区块从所述衬底缓冲区接收由所述第1处理装置搬送到所述衬底缓冲区的衬底，将接收的衬底搬送到所述接口区块，

所述接口区块将利用所述第2处理区块搬送来的衬底搬出到所述外部装置，另外，搬入由所述外部装置处理过的衬底，

所述第2处理区块从所述接口区块接收由所述外部装置处理过的衬底，对接收的衬底进行第2处理，将进行过所述第2处理的衬底搬送到所述衬底缓冲区。

5.根据权利要求1所述的衬底处理系统，其特征在于，

所述第1处理装置具备：第1处理区块，连结于所述移载传送区块，对衬底进行第1处理；及接口区块，连结于所述第1处理区块，对外部装置进行衬底的搬出及搬入；

所述第1处理区块从所述衬底缓冲区接收衬底，对接收的衬底进行第1处理，将进行过所述第1处理的衬底搬送到所述接口区块，

所述接口区块将利用所述第1处理区块搬送来的衬底搬出到所述外部装置，另外，搬入由所述外部装置处理过的衬底，

所述第1处理区块从所述接口区块接收由所述外部装置处理过的衬底，将接收的衬底搬送到所述衬底缓冲区。