[发明专利]功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法有效
申请号: | 202010621054.5 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN111624373B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/26;G01R35/00 |
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地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 器件 测试 探针 磁力 式泄压 结构 及其 安装 标定 方法 | ||
1.功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构,其特征在于,在进气系统(1)上设置有泄压孔(1-3),所述泄压孔(1-3)内壁攻有螺纹,并旋拧有调整件(1-5),所述调整件(1-5)包括截面为T形、中间具有通孔的接触端(1-5-1),环形磁铁(1-5-2)和上磁铁固定端(1-5-3),所述接触端(1-5-1)宽部侧壁套有螺纹,用于旋拧在泄压孔(1-3)内壁,窄部设置有环形磁铁(1-5-2),窄部侧壁套有螺纹,所述上磁铁固定端(1-5-3)内壁攻有螺纹,用于旋拧在接触端(1-5-1)窄部侧壁,接触端(1-5-1)宽部下方与上磁铁固定端(1-5-3)上方将环形磁铁(1-5-2)固定;所述泄压孔(1-3)内壁还旋拧有阀门件(1-4),所述阀门件(1-4)包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件(1-4-1),所述连接件(1-4-1)窄部侧壁套有螺纹,用于旋拧在泄压孔(1-3)内壁,所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁(1-4-2),所述圆形磁铁(1-4-2)上方粘贴有密封垫(1-4-3),侧壁设置有豁口,底部设置有豁口,侧壁豁口和底部豁口相连,阶梯通孔的宽部内壁攻有螺纹,并旋拧有中间具有通孔的遮挡环(1-4-4),圆形磁铁(1-4-2)在环形磁铁(1-5-2)的吸引和压缩空气的推动下,能够在遮挡环(1-4-4)上方上下运动。
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