[发明专利]功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法

说明书

本发明一种功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试技术领域；泄压孔内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件，调整件包括接触端，环形磁铁和上磁铁固定端，接触端宽部旋拧在泄压孔内壁，窄部设置有环形磁铁，上磁铁固定端旋拧在接触端窄部侧壁；泄压孔内壁还旋拧有阀门件，包括连接件，连接件窄部旋拧在泄压孔内壁，阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁，圆形磁铁上方粘贴有密封垫，侧壁和底部均设置有相连的豁口，阶梯通孔的宽部旋拧有中间具有通孔的遮挡环，圆形磁铁能够上下运动；本发明应用于功率器件高温高压测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。

技术领域

本发明一种功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试技术领域。

背景技术

随着MEMS技术和半导体技术的不断发展，小型化高功率器件的产量逐年攀升。很多器件要在高电压和高温度环境下进行工作。确保这些器件能够在如此恶劣环境下正常工作，需要用探针卡对其性能进行测试。

功率器件测试的一项重要指标是击穿电压，该电压可以高达几千伏，在如此高电压下进行测试，探针卡的探针之间就可能产生非正常放电现象，瞬间就可以损坏测试设备以及被测晶圆。

功率器件测试的另一项重要指标是工作温度，一般来讲，测试芯片要求在-40摄氏度到125摄氏度之间均能够正常工作，而汽车领域中的部分芯片，要求其能够在180摄氏度以上的环境下正常工作，那么我们就需要对其在180摄氏度以上的工作情况进行测试。由于探针卡各部件之间存在热膨胀系数差异，从室温到180摄氏度以上的温度变化会造成探针卡的翘曲变形和探针的位置漂移，这不仅降低了测试效果和效率，严重时甚至造成测试失败、探针卡损伤等问题。

可见，如何抑制高电压环境下探针之间非正常放电现象，以及如何抑制高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移，是现阶段功率器件测试探针卡技术亟待解决的关键技术问题，然而，目前还没有发现能够同时突破这两个技术难题的探针卡。

发明内容

针对上述问题，本发明公开了一种功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构及其安装标定方法，，该项技术应用于功率器件高温高压测试用探针卡，不仅能够抑制高电压环境下探针之间非正常放电现象，而且能够抑制高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。

本发明的目的是这样实现的：

功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构，在进气系统上设置有泄压孔，所述泄压孔内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件，所述调整件包括截面为T形、中间具有通孔的接触端，环形磁铁和上磁铁固定端，所述接触端宽部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔内壁，窄部设置有环形磁铁，窄部侧壁套有螺纹，所述上磁铁固定端内壁攻有螺纹，用于旋拧在接触端窄部侧壁，接触端宽部下方与上磁铁固定端上方将环形磁铁固定；所述泄压孔内壁还旋拧有阀门件，所述阀门件包括截面为倒T形、中间具有上窄下宽阶梯通孔的连接件，所述连接件窄部侧壁套有螺纹，用于旋拧在泄压孔内壁，所述阶梯通孔的宽部放置有圆形磁铁，所述圆形磁铁上方粘贴有密封垫，侧壁设置有豁口，底部设置有豁口，侧壁豁口和底部豁口相连，阶梯通孔的宽部内壁攻有螺纹，并旋拧有中间具有通孔的遮挡环，圆形磁铁在环形磁铁的吸引和压缩空气的推动下，能够在遮挡环上方上下运动。

功率器件测试探针卡用磁力式泄压结构的安装方法，包括以下步骤：

步骤a、将调整件倒置，将环形磁铁套在接触端上，并旋拧磁铁固定端，将环形磁铁固定；

步骤b、将调整件正置，调整件的接触端旋拧入泄压孔中；

步骤c、将阀门件倒置，将下方粘贴有密封垫的圆形磁铁放入阀门件的阶梯通孔中；

步骤d、将遮挡环安装在阀门件的阶梯通孔中；

步骤e、将阀门件正置，将阀门件的连接件旋拧入泄压孔中。