[发明专利]液体扰流装置及电镀系统有效
申请号: | 202010627012.2 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN113881998B | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 郭忠军 | 申请(专利权)人: | 矽磐微电子(重庆)有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D5/08;C25D21/10 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
地址: | 401331 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 装置 电镀 系统 | ||
1.一种液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括支架、连接于所述支架的第一扰流元件及第二扰流元件,且所述第一扰流元件、所述第二扰流元件的长度方向与所述支架的长度方向交叉,所述第一扰流元件具有用于导引液体的第一导流面,所述第二扰流元件具有用于导引液体的第二导流面,所述第一导流面所在的平面与所述第二导流面所在的平面相交,且两者形成夹角,所述夹角为20°~60°;
所述液体扰流装置包括安装于所述支架的扰流过渡元件,所述扰流过渡元件包括第一过渡面及第二过渡面,所述第一过渡面平行于所述第一导流面,所述第二过渡面平行于所述第二导流面;所述扰流过渡元件位于所述第一扰流元件和第二扰流元件之间。
2.根据权利要求1所述的液体扰流装置,其特征在于,所述第一扰流元件及第二扰流元件沿第一方向排列,所述第一导流面所在的平面和第二导流面所在的平面相交且呈对称设置,对称轴垂直于所述第一方向。
3.根据权利要求2所述的液体扰流装置,其特征在于,所述第一扰流元件与所述第二扰流元件对称分布且对称轴垂直于所述第一方向。
4.根据权利要求1所述的液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括多个第一扰流元件及多个第二扰流元件,相邻的两个第一扰流元件的距离等于相邻的两个第二扰流元件的距离。
5.根据权利要求1所述的液体扰流装置,其特征在于,所述扰流过渡元件包括弧面及桥接面,所述弧面连接所述第一过渡面及第二过渡面,所述桥接面连接第一过渡面和第二过渡面。
6.根据权利要求2所述的液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括安装于所述支架的第三扰流元件及第四扰流元件,所述第一扰流元件、第三扰流元件、第二扰流元件及第四扰流元件沿周向设置;
所述第三扰流元件包括第三导流面,所述第四扰流元件包括第四导流面,所述第三导流面所在的平面和所述第四导流面所在的平面相交。
7.根据权利要求6所述的液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括多个扰流单元,每个所述扰流单元包括沿周向设置的所述第一扰流元件、第三扰流元件、第二扰流元件及第四扰流元件;
多个所述扰流单元自外向内依次设置,位于外侧的扰流单元包围位于内侧的扰流单元。
8.根据权利要求2至7任一项所述的液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括动力元件,所述动力元件包括用于输出动力的输出端,所述支架连接所述输出端,所述支架接收所述动力元件的动力。
9.根据权利要求8所述的液体扰流装置,其特征在于,所述液体扰流装置包括与所述动力元件通讯连接的控制模块,所述控制模块配置为控制所述动力元件,调整所述支架、第一扰流元件、第二扰流元件的运动行程和速度。
10.一种电镀系统,其特征在于,所述电镀系统包括如权利要求1至9中任一项所述的液体扰流装置。
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