[发明专利]一种铜靶材组件的除锈打磨方法在审
申请号: | 202010628404.0 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN111775018A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;于江花 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B24B27/033 | 分类号: | B24B27/033;B24B7/10;B24B27/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 铜靶材 组件 除锈 打磨 方法 | ||
1.一种铜靶材组件的除锈打磨方法,其特征在于,所述除锈打磨方法包括:
利用打磨介质对所述铜靶材组件的锈面依次进行锈面打磨和纹路打磨;打磨后所述锈面的粗糙度Ra≤0.8μm;所述纹路打磨从锈面的中心点处开始打磨。
2.如权利要求1所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述打磨介质包括背绒砂纸和百洁布。
3.如权利要求2所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述锈面打磨为采用背绒砂纸进行打磨。
4.如权利要求2所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述纹路打磨为采用百洁布进行打磨。
5.如权利要求1-4任一项所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述打磨处理前,对非打磨面进行遮蔽处理。
6.如权利要求5所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述遮蔽处理为采用胶带对非打磨面进行遮蔽。
7.如权利要求1-6任一项所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述靶材组件中的背板打磨前应置于夹具上。
8.如权利要求7所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述背板和夹具间设置有净化布。
9.如权利要求1-8任一项所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述靶材组件中的背板进行打磨时,所述打磨围绕背板的圆心进行。
10.如权利要求1-9任一项所述的除锈打磨方法,其特征在于,所述除锈方法包括:
利用打磨介质对所述铜靶材组件的锈面依次进行锈面打磨和纹路打磨;打磨后所述锈面的粗糙度Ra≤0.8μm;所述纹路打磨从锈面的中心点处开始打磨;
其中,所述打磨介质包括背绒砂纸和百洁布;所述锈面打磨为采用背绒砂纸进行打磨;所述纹路打磨为采用百洁布进行打磨;所述打磨处理前,对非打磨面进行遮蔽处理;所述遮蔽处理为采用胶带对非打磨面进行遮蔽;所述靶材组件中的背板打磨前应置于夹具上;所述靶材组件中的背板进行打磨时,所述打磨围绕背板的圆心进行;所述背板和夹具间设置有净化布。
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