[发明专利]一种单晶硅生长炉的外部装料机构

权利要求书

1.一种单晶硅生长炉的外部装料机构，包括生长炉炉体(1)，其特征在于，所述生长炉炉体(1)的两侧上端均固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的上端共同固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)的两侧之间的距离比两个支撑板(2)之间的距离大，所述安装板(3)的一侧安装有上料机构(4)，所述安装板(3)的中部安装有注料机构(5)，所述安装板(3)的中部安装有四个辅助支撑机构(6)，四个所述辅助支撑机构(6)分别位于安装板(3)的中部四拐角处，所述安装板(3)的上端固定连接有支撑架(7)，所述支撑架(7)呈U形结构且和安装板(3)位于同一条中垂线上，所述支撑架(7)的内部上端滑动连接有横板(10)，所述横板(10)和安装板(3)位于同一条中垂线上，所述横板(10)的上端四拐角处均贯穿开设有通孔(11)，所述横板(10)上开设的四个通孔(11)和安装板(3)上安装的四个辅助支撑机构(6)一一对应，所述支撑架(7)外部上端的中部固定连接有液压缸(8)，所述液压缸(8)的活塞杆朝下且活塞杆贯穿支撑架(7)的上端侧壁且固定连接在横板(10)的上端，所述液压缸(8)的活塞杆滑动连接在支撑架(7)的上端侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生长炉的外部装料机构，其特征在于，所述注料机构(5)包括固定罩(51)，所述固定罩(51)位于安装板(3)的下方，所述固定罩(51)的上端中部固定连接有固定管(54)，所述固定管(54)的上端贯穿且滑动连接在安装板(3)上，所述固定管(54)的一侧上端贯穿开设有滑孔(55)，所述固定罩(51)的内部设有分流板(52)，所述分流板(52)呈圆台形结构，所述分流板(52)的下端位于固定罩(51)的外部下端，所述固定罩(51)的两侧和前后部均固定连接有连接板(53)，所述连接板(53)的下端均固定连接在分流板(52)的圆周外壁上。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅生长炉的外部装料机构，其特征在于，所述上料机构(4)包括壳体(41)，所述壳体(41)固定连接在安装板(3)上，所述壳体(41)靠近安装板(3)的一侧上端固定连接有输送管(42)，所述输送管(42)远离壳体(41)的一端穿过注料机构(5)的滑孔(55)延伸至注料机构(5)的固定管(54)内部，所述壳体(41)靠近安装板(3)的一侧下端固定连接有固定板(43)，所述固定板(43)远离壳体(41)的一侧固定连接在同侧支撑板(2)上，所述壳体(41)远离安装板(3)的一侧下端开设有进料口(44)，所述壳体(41)的下端固定连接有电机(46)，所述电机(46)的输出端朝上且输出端上固定连接有输送杆(47)，所述输送杆(47)的上端贯穿壳体(41)的下端侧壁且转动连接在壳体(41)的上端内壁上，所述输送杆(47)的下端通过密封轴承固定连接在壳体(41)的下端侧壁上，所述输送杆(47)位于壳体(41)内部的外壁上固定连接有转板(48)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅生长炉的外部装料机构，其特征在于，所述输送管(42)呈倾斜设置，所述输送管(42)靠近壳体(41)的一端较高，所述输送管(42)远离壳体(41)的一端较低。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅生长炉的外部装料机构，其特征在于，所述壳体(41)远离安装板(3)的一侧下端固定连接有进料斗(45)，所述进料斗(45)的内部和进料口(44)相通。

6.根据权利要求2所述的一种单晶硅生长炉的外部装料机构，其特征在于，所述辅助支撑机构(6)均包括固定杆(61)，所述固定杆(61)的下端均贯穿安装板(3)均固定连接在注料机构(5)的固定罩(51)上，所述固定杆(61)均滑动连接在安装板(3)上，所述固定杆(61)的上端均贯穿对应的通孔(11)且均延伸至横板(10)的上方，所述固定杆(61)的圆周外壁上均套设且固定连接有固定环(62)，所述固定环(62)均位于安装板(3)和横板(10)之间，所述固定环(62)的下端均固定连接有压缩弹簧(63)，所述压缩弹簧(63)均包裹在同侧固定杆(61)上，所述压缩弹簧(63)的下端均固定连接在安装板(3)上。