[发明专利]线路板制作方法及线路板

说明书

本申请涉及一种线路板制作方法及线路板。方法包括：提供底板，在底板上形成金属层，在金属层远离所述底板的一侧覆盖干膜，利用光罩对干膜进行曝光显影，蚀刻金属层中未被干膜覆盖的部分，形成金属线路，光罩为线路边缘部分遮射式光罩。上述线路板制作方法及线路板，因光罩边缘只有部分光线能穿过，从而使被光罩边缘遮住的干膜接收到的光线变弱，干膜显影时只有表层曝光的被显影，干膜底部的宽度大于顶部宽度，可形成平滑的干膜坡度，被蚀刻后的金属线路也会有平滑坡度，底部的宽度大于顶部的宽度，避免了金属线路出现断差现象，从而提高了线路板的工作可靠性。

技术领域

本申请涉及器件制造技术领域，特别是涉及一种线路板制作方法及线路板。

背景技术

线路板是电子屏幕中常用的传感器件之一，在制作线路板时，通常采用曝光机产生平行紫外光，用光罩遮挡住光线，紫外线穿透光罩照射到干膜层，使干膜层上形成与光罩图形相应的图形，然后处理掉没有干膜保护的金属结构，从而得到完整的金属线路。

然而，传统的光罩结构均一，在使用时，会使干膜层显影有断差，金属线路被蚀刻时会从断差处侧面蚀刻，从而影响金属线路的工作性能，造成线路板可靠性低。

发明内容

基于此，有必要针对传统的线路板可靠性低的问题，提供一种线路板制作方法及线路板。

一种线路板制作方法，包括以下步骤：

提供底板，在所述底板上形成金属层；

在所述金属层远离所述底板的一侧覆盖干膜；

利用光罩对所述干膜进行曝光显影；

蚀刻所述金属层中未被所述干膜覆盖的部分，形成金属线路；其中，所述光罩包括遮光结构和镂空区域，所述遮光结构靠近所述镂空区域的边缘区域为部分遮光结构，所述遮光结构远离所述镂空区域的中间区域为全遮光结构。

一种线路板，包括底板和通过上述的方法提供的金属线路，所述金属线路设置在所述底板上。

上述线路板制作方法及线路板，光罩的全遮光结构不允许光线通过，光罩的部分遮光结构允许光线部分通过，当光罩应用在线路板制作上时，因光罩边缘只有部分光线能穿过，从而使被光罩边缘遮住的干膜接收到的光线变弱，干膜显影时只有表层曝光的被显影，干膜底部的宽度大于顶部宽度，可形成平滑的干膜坡度，使被蚀刻后的金属线路也会有平滑坡度，金属线路底部的宽度大于顶部的宽度，避免了金属线路出现断差现象，提高了金属线路的工作性能，从而提高了线路板的工作可靠性。

在其中一个实施例中，所述底板包括层叠设置的基板和导电膜，所述提供底板，在所述底板上形成金属层，包括：在所述导电膜远离所述基板的一侧形成金属层。基板用于作为导电膜的载体，导电膜用于感应用户的触控操作，得到触控的位置，实现触控功能。

在其中一个实施例中，所述利用光罩对所述干膜进行曝光显影，包括：将曝光机产生的光线透过光罩照射到所述干膜上；利用显影液清除所述干膜中与所述光罩的透光区域对应的部分，使所述干膜保留与所述光罩的图形相对应的图案。该方法实施难度小，得到的干膜质量好。

在其中一个实施例中，所述蚀刻所述金属层中未被所述干膜覆盖的部分，形成金属线路包括：采用蚀刻液蚀刻掉所述金属层中没有被所述干膜覆盖的部分，形成金属线路。该方法简单易行，工作效率高，得到的金属线路质量好。

在其中一个实施例中，所述部分遮光结构的宽度范围为1-100μm。在该范围内的宽度下制成的金属线路可以应用于大部分的触摸屏传感装置，使用范围广。

在其中一个实施例中，所述部分遮光结构的各个区域的宽度相等。部分遮光结构的各个区域的宽度相等可以使蚀刻得到的金属线路保持较好的一致性，从而提高金属线路的工作性能。