[发明专利]曝光机的曝光图形的处理方法、装置及曝光机在审

专利信息
申请号: 202010631694.4 申请日: 2020-07-03
公开(公告)号: CN111880379A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 项宗齐 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F7/213;G03F9/00
代理公司: 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 代理人: 贾玉姣
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 曝光 图形 处理 方法 装置
【说明书】:

发明公开了一种曝光机的曝光图形的处理方法、装置及曝光机,方法包括:对待曝光图形进行分段,得到多个具有预设长度的分段图形,每个分段图形均具有对准标记,预设长度为曝光机的一次曝光长度;若在当前曝光阶段之前不存在上一曝光阶段,则直接对当前曝光阶段的分段图形进行曝光;若在当前曝光阶段之前存在上一曝光阶段,则根据上一曝光阶段的分段图像与当前曝光阶段的分段图形的对准标记,对当前曝光阶段的分段图形进行位置校正,并对校正后的分段图形进行曝光,迭代执行该步骤,直至完成所有分段图形的位置校正及曝光。本发明在分段加工图像时,后段图形能够与前段图像通过对准标记进行精准对位,从而提高曝光精度,进而保证产品质量。

技术领域

本发明涉及图形曝光技术领域,尤其是涉及一种曝光机的曝光图形的处理方法、装置及曝光机。

背景技术

曝光机,如卷对卷直写曝光机是曝光制程的核心装备。卷对卷直写曝光机因不需要菲林片,图形直接转换,减少了工艺流程,缩短了加工周期而备受PCB(Printed CircuitBoard,印制电路板)加工商的青睐。卷对卷直写曝光机主要适用于整卷软板的图形转移工序。

然而,卷对卷直写曝光机一次曝光的料带长度是有限,如果需要曝光的图形超过曝光机本身的一次曝光长度,这时就需要通过多次曝光来完成一个图形的加工,而相邻两次曝光加工过程中,前后两段图形的拼接是否精准对最终的产品质量起到关键作用。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此,本发明的一个目的在于提出一种曝光机的曝光图形的处理方法,该方法在分段加工图像时,后段图形能够与前段图像通过对准标记进行精准对位,从而提高曝光精度,进而保证产品质量。

为此,本发明的第二个目的在于提出一种曝光机的曝光图形处理装置。

为此,本发明的第三个目的在于提出一种曝光机。

为实现上述目的,本发明第一方面的实施例公开了一种曝光机的曝光图形的处理方法,包括以下步骤:对待曝光图形进行分段,得到多个具有预设长度的分段图形,其中,每个所述分段图形均具有对准标记,所述预设长度为所述曝光机在料带上的一次曝光长度;在曝光时,若在当前曝光阶段之前不存在上一曝光阶段,则直接对当前曝光阶段的分段图形进行曝光;若在当前曝光阶段之前存在上一曝光阶段,则根据上一曝光阶段的分段图像与当前曝光阶段的分段图形的对准标记,对当前曝光阶段的分段图形进行位置校正,并对校正后的分段图形进行曝光,迭代执行该步骤,直至完成所有分段图形的位置校正及曝光。

根据本发明实施例的曝光机的曝光图形的处理方法,对待曝光图形进行分段,得到多个分段图形,其中,每个分段图形均具有对准标记,且长度均为曝光机在料带上的一次曝光长度;在在分段加工图像时,后段图形能够与前段图像通过对准标记进行精准对位,从而提高曝光精度,进而保证产品质量。

另外,本发明上述实施例的曝光机的曝光图形的处理方法还可以包括如下附加技术特征;

在一些示例中,所述根据上一曝光阶段的分段图像与当前的分段图形的对准标记,对当前的分段图形进行位置校正,包括:将当前曝光阶段的分段图形的对准标记与上一曝光阶段的分段图形的对准标记进行对准操作,实现对当前曝光阶段的分段图形的位置校正。

在一些示例中,多个所述分段图形的对准标记所处位置相互对应。

在一些示例中,多个所述分段图形的对准标记的形状一致。

在一些示例中,所述对准标记被配置为圆孔。

在一些示例中,每个所述分段图形的对准标记为多个。

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