[发明专利]CCD曝光机的对位方法、装置及其计算机可读存储介质有效

专利信息
申请号: 202010632185.3 申请日: 2020-07-02
公开(公告)号: CN111856895B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 尹栋;李标;刘炜;毛家福 申请(专利权)人: 深圳市四元数数控技术有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 高福勇
地址: 518105 广东省深圳市光明区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: ccd 曝光 对位 方法 装置 及其 计算机 可读 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种CCD曝光机的对位方法,用于具有CCD对位系统的曝光机,其特征在于,所述方法包括:

计算基材上的基准点到胶片上的标记点之间的距离,并获取所述距离的最小二乘解;

将所述距离的最小二乘解传递到范式距离或霍夫距离中,采用范式距离或者霍夫变换获取所述基准点到所述标记点之间的真实距离;

控制所述曝光机的对位平台根据所述真实距离进行移动,使得所述基准点与所述标记点重合对位。

2.根据权利要求1所述的CCD曝光机的对位方法,其特征在于,所述计算基材上的基准点到胶片上的标记点之间的距离之前,所述方法还包括:

所述CCD对位系统采集所述胶片上的标记点图像信息,并对所述图像信息进行图像处理,对所述标记点进行定位。

3.根据权利要求1所述的CCD曝光机的对位方法,其特征在于,所述计算基材上的基准点到胶片上的标记点之间的距离,并获取所述距离的最小二乘解具体包括:

所述基材和所述胶片上对应设置有两个或者四个标记点和基准点,通过最小二乘法获取所述基准点与对应的所述标记点之间距离的最小二乘解矩阵。

4.根据权利要求3所述的CCD曝光机的对位方法,其特征在于,所述将所述距离的最小二乘解传递到范式距离或霍夫距离中,采用范式距离或者霍夫变换获取所述基准点到所述标记点之间的真实距离的具体包括:

对所述距离的最小二乘解矩阵分别通过范式距离和霍夫变换进行处理,根据相似匹配度确定所述真实距离。

5.根据权利要求3所述的CCD曝光机的对位方法,其特征在于,所述通过最小二乘法获取所述基准点与对应的所述标记点之间距离的最小二乘解矩阵的步骤之后,所述方法还包括:

当所述最小二乘解矩阵的至少一个最小二乘解的偏差大于预设值时,对所述最小二乘解矩阵进行正态分布计算,并采用高斯滤波获得所述最小二乘解矩阵各个解的权重值;

对所述最小二乘解矩阵分别通过范式距离和霍夫变换进行处理,根据相似匹配度确定所述真实距离。

6.根据权利要求1所述的CCD曝光机的对位方法,其特征在于,所述控制所述曝光机的对位平台根据所述真实距离进行移动,使得所述基准点与所述标记点重合对位的步骤包括:

采用opencv多线程调优算法驱动所述对位平台根据所述真实距离进行移动,使得所述基准点与所述标记点重合对位。

7.一种CCD曝光机的对位装置,其特征在于,所述CCD曝光机的对位装置包括处理器、存储器及数据总线;

所述数据总线用于实现处理器和存储器之间的连接通信;

所述处理器用于执行存储器中存储的CCD曝光机对位程序,以实现以下步骤:

计算基材上的基准点到胶片上的标记点之间的距离,并获取所述距离的最小二乘解;

将所述距离的最小二乘解传递到范式距离或霍夫距离中,采用范式距离或者霍夫变换获取所述基准点到所述标记点之间的真实距离;

控制所述曝光机的对位平台根据所述真实距离进行移动,使得所述基准点与所述标记点重合对位。

8.根据权利要求7所述的CCD曝光机的对位装置,其特征在于,所述处理器用于执行存储器中存储的CCD曝光机对位程序还实现以下步骤:

所述基材和所述胶片上对应设置有两个或者四个标记点和基准点,通过最小二乘法获取所述基准点与对应的所述标记点之间距离的最小二乘解矩阵;

对所述距离的最小二乘解矩阵分别通过范式距离和霍夫变换进行处理,根据相似匹配度确定所述真实距离。

9.根据权利要求8所述的CCD曝光机的对位装置,其特征在于,所述处理器用于执行存储器中存储的CCD曝光机对位程序还实现以下步骤:

当所述最小二乘解矩阵的至少一个最小二乘解的偏差大于预设值时,对所述最小二乘解矩阵进行正态分布计算,并采用高斯滤波获得所述最小二乘解矩阵各个解的权重值;

对所述最小二乘解矩阵分别通过范式距离和霍夫变换进行处理,根据相似匹配度确定所述真实距离。

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有CCD曝光机对位程序,所述CCD曝光机对位程序被处理器执行时实现如权利要求1-6任意一项所述的CCD曝光机对位方法步骤。

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