[发明专利]一种半导体芯片用可调式封装装置在审
申请号: | 202010635983.1 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN111739825A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 顾骏 | 申请(专利权)人: | 顾骏 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/68 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 陈飞 |
地址: | 241200 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 调式 封装 装置 | ||
1.一种半导体芯片用可调式封装装置,包括底座(1)和固定座(2),底座(1)上固定安装有固定座(2),其特征在于,固定座(2)的左侧固定安装有调节座(3),调节座(3)内设有调节组件,调节组件连接有下夹持组件,底座(1)上设有上夹持组件。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,下夹持组件包括第一转轮(4)、第一螺杆(5)和第一螺纹块(6),第一螺杆(5)的下端通过轴承与调节座(3)转动连接,第一螺杆(5)的上端贯穿调节座(3)的上壁,并且固定连接有第一转轮(4),第一螺杆(5)上套设有第一螺纹块(6),第一螺杆(5)和第一螺纹块(6)之间通过螺纹连接,第一螺纹块(6)的一侧通过螺栓固定连接有升降座(7)。
3.根据权利要求2所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,升降座(7)上设有用于夹持芯片的下夹持板(8),下夹持板(8)内设有多个缓冲组件(20)。
4.根据权利要求3所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,缓冲组件(20)在下夹持板(8)上呈矩阵分布。
5.根据权利要求3所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,缓冲组件(20)包括缓冲板(21)和缓冲腔(23),缓冲腔(23)通过螺栓与下夹持板(8)固定连接,缓冲腔(23)内安装有缓冲板(21),缓冲板(21)和缓冲腔(23)之间滑动连接,缓冲板(21)的底部固定安装有定位板(22),缓冲腔(23)内对称设有两个定位杆(24),定位杆(24)和定位板(22)滑动连接,定位杆(24)上还套设有用于保护定位板(22)的缓冲弹簧(25)。
6.根据权利要求1-5任一所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,上夹持组件包括第二转轮(9)、第二螺杆(10)和第二螺纹块(11),第二螺杆(10)的下端通过轴承与固定座(2)的下壁转动连接,第二螺杆(10)的上端贯穿固定座(2)的上壁,并且固定连接有第二转轮(9),第二螺杆(10)的外部套设有第二螺纹块(11),第二螺杆(10)和第二螺纹块(11)之间通过螺纹连接,第二螺纹块(11)的一侧固定连接有上夹持板(12)。
7.根据权利要求6所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,上夹持板(12)采用弹性体材质制得。
8.根据权利要求6所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,第二螺杆(10)的中部固定安装有第一锥齿轮(13),第一锥齿轮(13)的后侧设有第二锥齿轮(14),第一锥齿轮(13)和第二锥齿轮(14)啮合传动,第二锥齿轮(14)的固定连接有第三螺杆(15),第三螺杆(15)和固定座(2)转动连接,第三螺杆(15)上套设有第三内螺纹套筒(16),且第三螺杆(15)和第三内螺纹套筒(16)之间通过螺纹连接。
9.根据权利要求8所述的半导体芯片用可调式封装装置,其特征在于,第三内螺纹套筒(16)固定连接有夹持基座(17),夹持基座(17)上固定安装有液压缸(19),液压缸(19)的伸缩端固定连接有侧夹板(18)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造