[发明专利]一种半导体芯片用可调式封装装置在审
申请号: | 202010635983.1 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN111739825A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 顾骏 | 申请(专利权)人: | 顾骏 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/68 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 陈飞 |
地址: | 241200 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 调式 封装 装置 | ||
本发明公开了一种半导体芯片用可调式封装装置,属于半导体芯片加工技术领域,解决了现有装置不能对不同尺寸的芯片进行夹持,导致芯片在封装时容易脱落的问题;其技术特征是:包括底座和固定座,底座上固定安装有固定座,固定座的左侧固定安装有调节座,调节座内设有调节组件,调节组件连接有下夹持组件,底座上设有上夹持组件;本发明实施例设置了上夹持组件和下夹持组件,上夹持组件和下夹持组件配合工作实现了对芯片位置的固定,利于芯片的封装工作,同时侧夹板的设置进一步实现了芯片定位的精准性。
技术领域
本发明涉及半导体芯片加工技术领域,尤其涉及一种半导体芯片用可调式封装装置。
背景技术
在半导体封装领域中,需要将半导体芯片通过结合材料粘附在对应的框架上,以实现半导体芯片的封装固定。然而,在半导体芯片粘附过程中,在结合材料中以及结合材料的粘合界面上容易产生气泡。气泡的存在,在半导体芯片工作时会受热膨胀,进而对半导体芯片产生一定的压力,影响半导体芯片的性能。
中国专利CN209374443U公开了一种芯片封装结构和封装方法,包括:底面相对贴合的第一芯片和第二芯片;多个导电柱,分布在第一芯片周围;引线,连接在第二芯片正面和金属端子的第一面之间;封装层,包封第一芯片、第二芯片、引线、导电柱,具有第一表面及与第一表面相对立的第二表面,第一表面暴露第一芯片的正面和导电柱的第二面,第二表面暴露第二芯片正面的预设区域,但是该装置不能对不同尺寸的芯片进行夹持,导致芯片在封装时容易脱落,因此,我们提出一种半导体芯片用可调式封装装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体芯片用可调式封装装置,包括底座和固定座,底座上固定安装有固定座,固定座的左侧固定安装有调节座,调节座内设有调节组件,调节组件连接有下夹持组件,底座上设有上夹持组件,以解决现有装置不能对不同尺寸的芯片进行夹持,导致芯片在封装时容易脱落的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种半导体芯片用可调式封装装置,包括底座和固定座,底座上固定安装有固定座,固定座的左侧固定安装有调节座,调节座内设有调节组件,调节组件连接有下夹持组件,底座上设有上夹持组件。
作为本发明进一步的方案:下夹持组件包括第一转轮、第一螺杆和第一螺纹块,第一螺杆的下端通过轴承与调节座转动连接,第一螺杆的上端贯穿调节座的上壁,并且固定连接有第一转轮,第一螺杆上套设有第一螺纹块,第一螺杆和第一螺纹块之间通过螺纹连接,第一螺纹块的一侧通过螺栓固定连接有升降座。
作为本发明再进一步的方案:升降座上设有用于夹持芯片的下夹持板,下夹持板内设有多个缓冲组件,缓冲组件在下夹持板上呈矩阵分布。
作为本发明再进一步的方案:缓冲组件包括缓冲板和缓冲腔,缓冲腔通过螺栓与下夹持板固定连接,缓冲腔内安装有缓冲板,缓冲板和缓冲腔之间滑动连接,缓冲板的底部固定安装有定位板,缓冲腔内对称设有两个定位杆,定位杆和定位板滑动连接,定位杆上还套设有用于保护定位板的缓冲弹簧。
作为本发明再进一步的方案:上夹持组件包括第二转轮、第二螺杆和第二螺纹块,第二螺杆的下端通过轴承与固定座的下壁转动连接,第二螺杆的上端贯穿固定座的上壁,并且固定连接有第二转轮,第二螺杆的外部套设有第二螺纹块,第二螺杆和第二螺纹块之间通过螺纹连接,第二螺纹块的一侧固定连接有上夹持板,上夹持板采用弹性体材质制得。
作为本发明再进一步的方案:第二螺杆的中部固定安装有第一锥齿轮,第一锥齿轮的后侧设有第二锥齿轮,第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合传动,第二锥齿轮的固定连接有第三螺杆,第三螺杆和固定座转动连接,第三螺杆上套设有第三内螺纹套筒,且第三螺杆和第三内螺纹套筒之间通过螺纹连接。
作为本发明再进一步的方案:第三内螺纹套筒固定连接有夹持基座,夹持基座上固定安装有液压缸,液压缸的伸缩端固定连接有侧夹板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造