[发明专利]抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃

权利要求书

1.一种抛光方法，其特征在于：

S1：通过工作气体产生等离子体；

S2：通过产生的所述等离子体给石英玻璃表面加热；

S3：使得石英玻璃冷却。

2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，在步骤S1中，所述等离子体的产生方法为：向石英管的内管和外管中通入所述工作气体，向所述石英管输送电子，给感应线圈通电使得电子加速并碰撞所述工作气体，使得所述石英管内产生等离子体。

3.根据权利要求2所述的抛光方法，其特征在于，所述外管中所述工作气体的流量大于所述内管中所述工作气体的流量。

4.根据权利要求3所述的抛光方法，其特征在于，所述外管中所述工作气体的流量为13slm至18slm，所述内管中所述工作气体的流量为1.0slm至1.5slm。

5.根据权利要求2所述的抛光方法，其特征在于，在产生稳定的所述等离子体后，调整射频电源的功率至900W。

6.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，当所述等离子体给所述石英玻璃表面加热时，所述石英玻璃表面距离所述石英管的垂直距离为10cm至15cm。

7.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述工作气体为氩气或氦气。

8.一种抛光装置，用于对石英玻璃的表面进行抛光，其特征在于，包括：

石英管，所述石英管包括内管和外管，所述内管的出口位于所述外管内，所述外管上包括输出端，所述输出端用于向外喷射等离子体；

第一管道和第二管道，所述第一管道与所述内管相连接，所述第一管道用于向所述内管输送工作气体，所述第二管道与所述外管相连接，所述第二管道用于向所述内管输送工作气体；

射频电源和感应线圈，所述感应线圈包围在所述输出端外侧对应所述出口的位置上，所述射频电源用于给所述感应线圈通电。

9.一种将高温等离子体作为石英玻璃的抛光工具的应用。

10.一种石英玻璃，其特征在于，由权利要求1至6中任意一项所述的抛光方法加工而成。