[发明专利]抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃

说明书

本发明涉及玻璃抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃。抛光方法包括：通过工作气体产生等离子体；通过产生的所述等离子体给石英玻璃表面加热；使得石英玻璃冷却。本发明还公开了一种抛光装置，用于对石英玻璃的表面进行抛光，本发明还公开了一种将高温等离子体作为石英玻璃的抛光工具的应用。本发明还公开了一种石英玻璃，通过上述方法加工生成。

技术领域

本发明涉及石英玻璃抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃。

背景技术

合成石英玻璃以其高纯度，高的透光性，低的热膨胀系数和耐高温等一系列优良的理化性能而成为重要的基础材料，广泛应用于激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端电子技术领域。在石英器件的使用过程中，石英器件的表面平整度为较为重要的评判指标，所以如何处理石英器件，使得石英器件的表面较为光滑且具有较少的划痕就成为石英器件加工过程中的重要加工步骤。

现有技术中多采用机械抛光和化学机械抛光，但是机械抛光容易造成石英器件的亚表面损伤，影响石英器件的使用寿命，化学机械抛光会在加工后的石英器件上残留较多的颗粒物，难以被完全清洗干净。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种抛光方法及应用、抛光装置、石英玻璃，能够减少在石英玻璃表面形成划痕或难以清除的颗粒物的概率。

提供了一种抛光方法，其特征在于：

S1：通过工作气体产生等离子体；

S2：通过产生的等离子体给石英玻璃表面加热；

S3：使得石英玻璃冷却。

作为对上述技术方案的进一步补充，在步骤S1中，等离子体的产生方法为：向石英管的内管和外管中通入工作气体，向石英管输送电子，给感应线圈通电使得电子加速并碰撞工作气体，使得石英管内产生等离子体。

作为对上述技术方案的进一步补充，外管中工作气体的流量大于内管中工作气体的流量。

作为对上述技术方案的进一步补充，外管中工作气体的流量为13slm至18slm，内管中工作气体的流量为1.0slm至1.5slm。

作为对上述技术方案的进一步补充，在产生稳定的等离子体后，调整射频电源的功率至900W。

作为对上述技术方案的进一步补充，当等离子体给石英玻璃表面加热时，石英玻璃表面距离石英管的垂直距离为10cm至15cm。

作为对上述技术方案的进一步补充，工作气体为氩气或氦气。

本发明还提供了一种抛光装置，用于对石英玻璃的表面进行抛光，其特征在于，包括：

石英管，石英管包括内管和外管，内管的出口位于外管内，外管上包括输出端，输出端用于向外喷射等离子体；

第一管道和第二管道，第一管道与内管相连接，第一管道用于向内管输送工作气体，第二管道与外管相连接，第二管道用于向内管输送工作气体；

射频电源和感应线圈，感应线圈包围在输出端外侧对应出口的位置上，射频电源用于给感应线圈通电。

本发明还提供了一种将高温等离子体作为石英玻璃的抛光工具的应用。

本发明还提供了一种石英玻璃，由抛光方法加工而成。