[发明专利]一种化学机械抛光设备及使用方法

权利要求书

1.一种化学机械抛光设备，包括第一箱体（1）、支撑罩（101）和零件本体（704），其特征在于，所述支撑罩（101）上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机（401），所述第二电机（401）的输出端设有与零件本体（704）相互配合的抛光盘（402），所述支撑罩（101）侧壁转动连接有第一转轴（502），所述第一转轴（502）远离支撑罩（101）的一端固定连接有第二支撑板（6），所述支撑罩（101）侧壁还固定连接有第二气缸（7）。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述第二气缸（7）的输出端连接有第三支撑板（701），所述第三支撑板（701）上转动连接有转动板（702），所述零件本体（704）固定在转动板（702）与第二支撑板（6）之间，所述第一箱体（1）的内壁转动连接有第二转轴（9），所述第二转轴（9）与第一转轴（502）之间连接有传动机构，所述第二转轴（9）上固定连接有凸轮（10），所述第一箱体（1）的底部设有活塞筒（1204），所述活塞筒（1204）内滑动连接有活塞板（1201），所述活塞板（1201）上固定连接有连接杆（12），所述连接杆（12）上固定连接有移动板（1001），所述移动板（1001）与凸轮（10）相贴，所述第一箱体（1）顶部设有滤网（802），所述滤网（802）上设有喷头（1302），所述喷头（1302）与活塞筒（1204）底部之间连接有第二空心管（13），所述第二空心管（13）上设有进水漏斗（14），所述第一箱体（1）内设有水箱（8），所述进水漏斗（14）位于水箱（8）内。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述移动机构包括第一电机（2）、螺纹杆（202）和螺纹块（3），所述第一电机（2）固定在支撑罩（101）侧壁，所述螺纹杆（202）固定连接在第一电机（2）的输出端，所述螺纹块（3）螺纹连接在螺纹杆（202）上，所述螺纹块（3）底部固定连接有第一支撑板（301）；

所述支撑罩（101）侧壁固定连接有保护罩（201），所述第一电机（2）位于保护罩（201）内。

4.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述升降机构包括第一气缸（302）和第二箱体（4），所述第一气缸（302）固定连接在第一支撑板（301）底部，所述第二箱体（4）固定连接在第一气缸（302）的输出端，所述第二电机（401）固定连接在第二箱体（4）顶部内壁。

5.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述螺纹杆（202）上固定连接有第一齿轮（5），所述支撑罩（101）侧壁转动连接有与第一齿轮（5）相啮合的第二齿轮（501），所述第一转轴（502）上固定连接有与第二齿轮（501）相啮合的第三齿轮（503）。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述传动机构包括从动带轮（901）、主动带轮（902）和皮带（903），所述从动带轮（901）固定连接在第二转轴（9）上，所述主动带轮（902）固定连接在第一转轴（502）上，所述皮带（903）连接在从动带轮（901）和主动带轮（902）之间。

7.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述活塞板（1201）上设有进气孔（1202），所述进气孔（1202）内设有第一单向阀（1203），所述第二空心管（13）内设有第二单向阀（1301），所述进水漏斗（14）内设有第三单向阀（1401），所述移动板（1001）与第一箱体（1）底部内壁之间设有弹簧（11）。

8.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述水箱（8）侧壁设有进水口（801），所述滤网（802）底部设有回收板（803），所述回收板（803）底部设有第一空心管（804），所述第一空心管（804）远离回收板（803）的一端与水箱（8）相连通。