[发明专利]一种化学机械抛光设备及使用方法

说明书

本发明公开了一种化学机械抛光设备及使用方法，属于机械抛光技术领域，一种化学机械抛光设备，包括第一箱体、支撑罩和零件本体，所述支撑罩上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机，所述第二电机的输出端设有与零件本体相互配合的抛光盘，所述支撑罩侧壁转动连接有第一转轴，所述第一转轴远离支撑罩的一端固定连接有第二支撑板，所述支撑罩侧壁还固定连接有第二气缸；本发明构造简单，操作便捷，通过凸轮和活塞板的相互配合，提高了抛光效率的同时有使抛光液随着机械零件的转动速度自动改变喷出量，实用性大大改善。

技术领域

本发明涉及机械抛光技术领域，尤其涉及一种化学机械抛光设备及使用方法。

背景技术

机械零件经过机床加工完成后，尤其是一些回转体的轴类零件，为了满足设计要求，还需进行抛光处理，抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽，但是，目前的抛光设备在工作时，抛光效率低，抛光时，抛光液无法随着机械零件的转动速度自动改变喷出量，以达到抛光液利用最大化。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中抛光效率低抛光液无法随着机械零件的转动速度自动改变喷出量等问题，而提出的一种化学机械抛光设备及使用方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种化学机械抛光设备，包括第一箱体、支撑罩和零件本体，所述支撑罩上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机，所述第二电机的输出端设有与零件本体相互配合的抛光盘，所述支撑罩侧壁转动连接有第一转轴，所述第一转轴远离支撑罩的一端固定连接有第二支撑板，所述支撑罩侧壁还固定连接有第二气缸，所述第二气缸的输出端连接有第三支撑板，所述第三支撑板上转动连接有转动板，所述零件本体固定在转动板与第二支撑板之间，所述第一箱体的内壁转动连接有第二转轴，所述第二转轴与第一转轴之间连接有传动机构，所述第二转轴上固定连接有凸轮，所述第一箱体的底部设有活塞筒，所述活塞筒内滑动连接有活塞板，所述活塞板上固定连接有连接杆，所述连接杆上固定连接有移动板，所述移动板与凸轮相贴，所述第一箱体顶部设有滤网，所述滤网上设有喷头，所述喷头与活塞筒底部之间连接有第二空心管，所述第二空心管上设有进水漏斗，所述第一箱体内设有水箱，所述进水漏斗位于水箱内。

优选的，所述移动机构包括第一电机、螺纹杆和螺纹块，所述第一电机固定在支撑罩侧壁，所述螺纹杆固定连接在第一电机的输出端，所述螺纹块螺纹连接在螺纹杆上，所述螺纹块底部固定连接有第一支撑板。

优选的，所述支撑罩侧壁固定连接有保护罩，所述第一电机位于保护罩内。

优选的，所述升降机构包括第一气缸和第二箱体，所述第一气缸固定连接在第一支撑板底部，所述第二箱体固定连接在第一气缸的输出端，所述第二电机固定连接在第二箱体顶部内壁。

优选的，所述螺纹杆上固定连接有第一齿轮，所述支撑罩侧壁转动连接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮，所述第一转轴上固定连接有与第二齿轮相啮合的第三齿轮。

优选的，所述传动机构包括从动带轮、主动带轮和皮带，所述从动带轮固定连接在第二转轴上，所述主动带轮固定连接在第一转轴上，所述皮带连接在从动带轮和主动带轮之间。

优选的，所述活塞板上设有进气孔，所述进气孔内设有第一单向阀，所述第二空心管内设有第二单向阀，所述进水漏斗内设有第三单向阀，所述移动板与第一箱体底部内壁之间设有弹簧。

优选的，所述水箱侧壁设有进水口，所述滤网底部设有回收板，所述回收板底部设有第一空心管，所述第一空心管远离回收板的一端与水箱相连通。