[发明专利]涂布头组件及涂布机

权利要求书

1.一种涂布头组件，其特征在于，包括：

一本体，包括：

一流道，设于该本体内，且该流道从该本体内延伸至该本体之外；

一分隔板，设于该本体内，该分隔板上设有复数个流量平衡区域，该些流量平衡区域在该本体内与该流道连通，流体经由该些流量平衡区域调整流动特征再流入该流道；

一注液口，设于该本体之一侧，用以将流体注入该本体中；及

一出液口，设于该本体相对于该注液口之一侧，并连通该流道，用以将经过该些流量平衡区域的流体输出该本体并涂布在一目标件上；

其中该本体更包括：

一间隔片，该间隔片具有相对的一第一表面与一第二表面，以及分别与该第一表面及该第二表面相接的一底面，该底面设有一缺口以形成该出液口，该缺口自该第一表面贯穿至该第二表面；

一第一涂布头，连接于该第一表面，该分隔板设在该第一涂布头内；以及

一第二涂布头，连接于该第二表面；

其中该间隔片、该第一涂布头及该第二涂布头相互配合以在该缺口处形成该流道；

其中该第一涂布头内具有一腔室，且该腔室藉由该分隔板分隔为第一分隔室及一第二分隔室，其中该第一分隔室位于该腔室远离该流道的位置，而第二分隔室则位于该腔室连通该流道的位置，该分隔板上设有复数个孔件，各该孔件分别包括：

一第一孔洞，系设在该孔件的中央位置；

复数第二孔洞，各该第二孔洞围绕第一孔洞分布在该孔件上，各该第一孔洞之孔径大于各该第二孔洞的孔径；

该第一分隔室分别对应各该第一孔洞及各该第二孔洞之位置为一进液通道，该第二分隔室分别对应各第一孔洞及各第二孔洞位置为一输液通道，各该进液通道的其中之一分别与各该输液通道的其中之一相互对应，并形成各该流量平衡区域；

更包含一流量检测单元，该流量检测单元包含一控制器、一第一感测元件及一第二感测元件，该第一感测元件及该第二感测元件分别用以感测流经该些进液通道及该些输液通道之流体的流动特征，并根据该流动特征以分别产生第一感测讯号与第二感测讯号，该控制器电性连接该第一感测元件及该第二感测元件，并接收该第一感测讯号与该第二感测讯号，该控制器根据第一感测讯号与第二感测讯号调整将流体从该注液口注入该本体的流动特征，令流体流经该些进液通道及该些输液通道，而平均汇流于该出液口。

2.如权利要求1所述之涂布头组件，其中该流道上自中央至二侧边之各处流体之间的流速差异为少于0.36％。

3.如权利要求1所述之涂布头组件，其中该分隔板之高度为H，各该孔件之最大高度为h，其中1/2H≦h＜H。

4.如权利要求1所述之涂布头组件，其中该分隔板之长度为L，该些孔件的数量介于1/5L～1/10L。

5.如权利要求1-4任一项所述之涂布头组件，其中所涂布之流体，系包含压电材料，目标件系为基板，该流体经由该涂布头组件涂布于该基板上，形成一柔性压电薄膜。

6.一种涂布机，其特征在于，包括：

一涂布平台，涂布平台系提供放置目标件；及

如权利要求5所述之涂布头组件，系设在对应涂布平台的位置，并对目标件的表面涂布流体。