[发明专利]半导体石墨热场保温装置及其保温方法

权利要求书

1.半导体石墨热场保温装置，包括底筒（1）、铰接组件、点火组件、密封机构、升降机构，其特征在于：所述底筒（1）为顶面敞口且竖向放置的圆形筒状，所述底筒（1）内安装有坩埚筒（2），所述坩埚筒（2）的外侧部通过四组铰接组件与底筒（1）内侧壁活动铰接，所述坩埚筒（2）的底部安装有点火组件；所述外盖（3）底面通过密封机构与底筒（1）顶面连接，所述坩埚筒（2）的顶面敞口处设有坩埚盖（26），所述坩埚盖（26）通过升降机构与外盖（3）连接。

2.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述铰接组件包括铰接底板（21）、铰接缸（22），所述坩埚筒（2）的外侧面均匀设有四块铰接底板（21），所述铰接底板（21）的外侧面上下两端设有一对第一铰接座，位于一对第一铰接座斜向对应的位置在底筒（1）内侧壁设有一对第二铰接座，每座所述第二铰接座与铰接缸（22）的底部活动铰接，且每座所述第一铰接座与铰接缸（22）的铰接杆端部活动铰接。

3.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述点火组件包括限位环（14）、防火罩（24）、点火筒（15）、加热管（23），所述底筒（1）内底面设有限位环（14），位于限位环（14）内在坩埚筒（2）的底部设有锥形状防火罩（24），位于限位环（14）中部在底筒（1）内底面设有点火筒（15），且所述点火筒（15）的尾端通过燃气管（16）与外接燃气罐连通；所述坩埚筒（2）的底部缠绕有加热管（23），所述加热管（23）的底端与防火罩（24）一端贯通，所述加热管（23）的另一端纵向放置在坩埚筒（2）背面。

4.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述密封机构包括卡环（38）、密封环（39）、固定伸缩缸（36），所述底筒（1）的顶面沿边设有卡环（38），所述外盖（3）的底面沿边设有密封环（39），所述密封环（39）的底面凹陷有环形密封槽，且所述卡环（38）卡合在环形密封槽内；所述底筒（1）的两侧面设有一对固定底座，每座固定底座外侧面均安装有输出端朝上的固定伸缩缸（36），每个所述固定伸缩缸（36）的伸缩杆端部均设有固定连块，所述密封环（39）的外侧面两端设有一对固定块（37），且每块固定块（37）均与对应的固定连块固接。

5.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述升降机构包括升降伸缩缸（31）、升降滑筒（32）、升降滑杆（34），所述外盖（3）的顶面中部凹陷有固定通孔，所述固定通孔内安装有升降伸缩缸（31），所述升降伸缩缸（31）的伸缩杆端部设有升降连块，且所述升降连块与坩埚盖（26）的顶面中部固接；位于固定通孔两侧在外盖（3）顶面凹陷有一对升降通孔，每个升降通孔内均设有升降滑筒（32），每根所述升降滑筒（32）内顶部均安装有升降弹簧（33），每根所述升降弹簧（33）底端均设有滑动贯穿升降滑筒（32）底端口的升降滑杆（34）。

6.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述坩埚盖（26）内底部套设有加固密封环（27），且所述加固密封环（27）内侧壁竖向均匀凹陷有多个梯形卡槽，所述坩埚筒（2）顶部外侧壁均匀设有多个梯形卡块（25），且每块梯形卡块（25）配合卡合在对应的梯形卡槽内。

7.根据权利要求1所述的半导体石墨热场保温装置，其特征在于：所述底筒（1）底面设有四组对称放置的梯形座（11），所述外盖（3）的顶面一端设有贯穿固接的排烟管（35）；所述底筒（1）外侧面均匀铺设有加固层板（12），所述底筒（1）内侧面均与铺设有保温层板（13）。

8.根据权利要求1-7任一所述的半导体石墨热场保温装置的保温方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，铰接缸（22）、升降伸缩缸（31）、固定伸缩缸（36）分别通过电源线与外接电源电性连接；把待加热焙烧的石墨材料倒入坩埚筒（2）内部；

步骤二，通过点火组件对坩埚筒（2）底部进行点火，点火筒（15）的尾端通过燃气管（16）与外接燃气罐连通，对点火筒（15）进行点火，点火后火焰在防火罩（24）内燃烧，燃烧后余热烟气经由加热管（23）对坩埚筒（2）底部进一步加热；

步骤三，通过铰接组件控制坩埚筒（2）缓慢下降，使得防火罩（24）配合卡合在限位环（14）内部，避免火焰向外侧溢出；

步骤四，通过密封机构控制外盖（3）与底筒（1）闭合，控制固定伸缩缸（36）的伸缩杆缩短，通过固定连块带动固定块（37）及外盖（3）下降，使得卡环（38）配合卡合在密封环（39）的环形密封槽内；

步骤五，通过升降机构控制坩埚盖（26）与坩埚（2）闭合，控制升降伸缩缸（31）的伸缩杆伸长，带动升降滑杆（34）沿着升降滑筒（32）向下滑动，进而带动升降弹簧（33）被拉长，进而带动坩埚盖（26）下降，使得梯形卡块（25）配合卡合在对应的梯形卡槽内，坩埚盖（26）与底筒（1）之间的烟气通过排烟管（35）排出。