[发明专利]一种镀膜用冷却设备、镀膜设备、方法及卷对卷薄膜

权利要求书

1.一种镀膜用冷却设备，其特征在于，所述设备包括具有冷却气体入口且设于工艺鼓内的至少一个气体循环管路；至少一部分所述气体循环管路嵌入所述工艺鼓内壁且延伸出出口朝向所述工艺鼓外壁上设置的耐磨透气层的至少两个支路，以便对所述耐磨透气层外的柔性基材进行冷却。

2.如权利要求1所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，每一所述气体循环管路包括沿所述工艺鼓转轴延伸的进气管路、进气管路末端朝向所述工艺鼓的内壁弯折并在所述内壁延伸预定距离的气体冷却管路，气体冷却管路末端朝向所述工艺鼓转轴弯折直至与所述冷却气体入口联通。

3.如权利要求2所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，每一所述气体循环管路呈长方形。

4.如权利要求2所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，所有所述气体循环管路沿所述工艺鼓转轴的中心线对称设置。

5.如权利要求1所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，所述耐磨透气层上设有透气用通孔。

6.如权利要求1所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，所述耐磨透气层由铸钢、碳钢组合制成。

7.如权利要求1所述的镀膜用冷却设备，其特征在于，所述设备还包括设于工艺鼓内部的至少一个液体循环管路；每一所述液体循环管路包括进水管路、水冷却管路和排水管路；所有所述液体循环管路共用一个沿所述工艺鼓转轴延伸设置的进水管路，所述进水管路末端向所述工艺鼓内壁至少两个方向分别弯折并分别在所述工艺鼓内壁延伸预定距离形成水冷却管路、水冷却管路末端向所述工艺鼓转轴弯折并沿所述工艺鼓转轴形成排水管路。

8.一种镀膜设备，包括真空腔体、设于真空腔体内的工艺鼓、传动装置、磁控靶以及权利要求1-7任一项所述的冷却设备；

所述工艺鼓、冷却设备、薄膜传动机构和磁控靶均设于所述真空腔体内，所述传动装置用于将柔性基材传动至所述工艺鼓外壁的耐磨透气层；所述磁控靶分布于所述工艺鼓的外周；所述冷却设备设于所述工艺鼓内。

9.一种镀膜方法，其特征在于，所述方法利用权利要求8所述的镀膜设备进行镀膜，包括两次镀膜过程：

所述传动装置以第一速度将所述柔性基材送至所述工艺鼓；

所述磁控靶以第二速度对所述柔性基材一面进行镀膜且所述冷却设备对所述柔性基材进行冷却；

所述传动装置将镀膜后的所述柔性基材从所述工艺鼓处送出；

所述传动装置以第一速度将所述柔性基材送至所述工艺鼓；

所述磁控靶以第二速度对所述柔性基材另一面进行镀膜且所述冷却设备对所述柔性基材进行冷却；

所述传动装置将镀膜后的所述柔性基材从所述工艺鼓处送出。

10.一种卷对卷薄膜，其特征在于，所述卷对卷薄膜通过权利要求9所述的方法制备而成。