[发明专利]附接基板的设备和附接基板的方法

权利要求书

1.一种附接基板的设备，包括：

上部台，具有上部支撑表面，所述上部支撑表面经组态成接触并支撑上部基板；

下部台，具有下部支撑表面，所述下部支撑表面配置于面向所述上部支撑表面的位置处以接触并支撑下部基板；以及

下部驱动单元，包括多个下部支撑部件以及多个下部驱动体，所述多个下部支撑部件连接到所述下部台以便支撑所述下部台的不同区域，且所述多个下部驱动体分别连接到所述多个下部支撑部件以单独地上升和下降，

其中所述上部台和所述下部台配置成彼此相邻，以通过操作所述下部驱动单元来使所述下部台上升。

2.根据权利要求1所述的附接基板的设备，其中所述多个下部支撑部件配置于所述下部台下方以支撑所述下部台的不同边缘。

3.根据权利要求1所述的附接基板的设备，进一步包括：

多个测压元件，分别安装到所述多个下部支撑部件以分别测量所述下部台的负载，所述下部台由所述多个下部支撑部件支撑；以及

下部控制单元，经组态成通过使用由所述多个测压元件测量的多个负载值之间的差来提升所述多个下部驱动体中的每一个。

4.根据权利要求3所述的附接基板的设备，其中所述下部驱动单元进一步包括：

下部支撑件，具有板形状，装设为面向所述下部台，且具有上部部分以及下部部分，所述上部部分安装到所述多个下部支撑部件以及所述下部部分安装到所述多个下部驱动体；以及

多个下部驱动源，分别连接到所述多个下部驱动体以提升所述多个下部驱动体中的每一个，

其中所述下部支撑件具有根据所述多个下部驱动体中的每一个的升降操作来调整的倾斜度。

5.根据权利要求4所述的附接基板的设备，其中所述多个下部支撑部件包括垂直布置的上部轴和下部轴，且

所述测压元件装设在所述上部轴与所述下部轴之间。

6.根据权利要求4所述的附接基板的设备，其中所述下部控制单元包括：

支撑表面监测部分，经组态成通过使用由所述多个测压元件测量的所述多个负载值之间的差来决定包括所述上部支撑表面与所述下部支撑表面之间的平行状态的布置状态是正常或不正常；以及

驱动控制部分，连接到所述多个下部驱动源中的每一个以基于所述支撑表面监测部分的决定结果来调整所述多个下部驱动源中的每一个的操作。

7.根据权利要求6所述的附接基板的设备，进一步包括布置状态测量单元，所述布置状态测量单元装设在所述上部台和所述下部台中的至少一个上以执行用于监测包括所述上部台与所述下部台之间的平行状态的布置状态的测量。

8.根据权利要求7所述的附接基板的设备，其中所述布置状态测量单元包括：

多个推动部件，装设在所述上部台的外侧表面上的不同位置上；以及

多个位移传感器，装设在所述下部台的外侧表面上以分别面向所述推动部件，所述多个位移传感器具有长度和形状且经组态成测量位移量，所述长度和所述形状中的至少一个通过外力发生变形，

其中所述下部控制单元包括台监测部分，所述台监测部分经组态成通过使用分别由所述多个位移传感器测量的所述位移量之间的差来决定包括所述上部台与所述下部台之间的平行状态的布置状态是正常或不正常。

9.根据权利要求8所述的附接基板的设备，其中所述布置状态测量单元包括装设在不同位置上的多个距离传感器，以各自测量所述上部支撑表面与所述下部支撑表面之间的距离，且

所述下部控制单元包括所述台监测部分，所述台监测部分经组态成通过使用分别由所述多个距离传感器测量的所述距离值之间的差来决定包括所述上部台与所述下部台之间的平行状态的布置状态是正常或不正常。