[发明专利]附接基板的设备和附接基板的方法

说明书

提供一种附接基板的设备以及附接基板的方法。设备包含：上部台，具有接触支撑上部基板的上部支撑表面；下部台，具有下部支撑表面，下部支撑表面配置于面向上部支撑表面的位置处以接触并支撑下部基板；以及下部驱动单元，包含多个下部支撑部件及多个下部驱动体，所述多个下部支撑部件连接到下部台以便支撑下部台的不同区域及所述多个下部驱动体分别连接到多个下部支撑部件以单独地上升和下降，且上部台和下部台配置成彼此相邻，其中通过操作下部驱动单元来使下部台上升。因此，根据示范性实施例的附接基板的设备可均一地按压上部基板和下部基板且防止由非均一按压引起的附接缺陷。

技术领域

本公开涉及一种附接基板的设备和附接基板的方法，且更确切地说，涉及一种能够提高上部基板与下部基板之间的附接品质的附接基板的设备，以及附接基板的方法。

背景技术

例如有机发光显示装置和液晶显示装置的平面显示装置通常涉及附接上部基板和下部基板的过程。执行附接上部基板和下部基板的过程的附接基板的设备包含：腔室；上部台，所述上部台装设在腔室中以在所述上部台的底部表面处支撑上部基板并且能够升高；下部台，所述下部台装设在腔室中的所述上部台下方以在所述下部台的顶部表面处支撑下部基板。

本文中，在上部台和下部台并不彼此平行时，或上部台的支撑上部基板的底部表面和下部台的支撑下部基板的顶部表面并不彼此平行时，可产生由非均一按压力引起的附接缺陷。因此，可能产生附接缺陷，其中每一位置的上部基板与下部基板之间的间隔距离不同，施加到上部基板与下部基板之间的区域的一部分的压力过度，或并未施加所需压力。

另外，由于在并未识别上部台和下部台并不彼此平行的状态的同时执行附接过程，因此可产生产品缺陷，进而导致设备的成本增大和操作效率降低。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)韩国注册专利第KR1378072号

发明内容

本公开提供一种附接基板的设备和一种附接基板的方法，所述附接基板的设备能够在平行状态中附接上部基板和下部基板。

本公开还提供一种附接基板的设备和一种附接基板的方法，所述附接基板的设备能够通过使用均一按压力来附接上部基板和下部基板。

根据示范性实施例，一种附接基板的设备包含：上部台，具有上部支撑表面，所述上部支撑表面经组态成接触并支撑上部基板；下部台，具有下部支撑表面，所述下部支撑表面配置于面向上部支撑表面的位置处以接触并支撑下部基板；以及下部驱动单元，包含多个下部支撑部件及多个下部驱动体，所述多个下部支撑部件连接到下部台以便支撑下部台的不同区域及所述多个下部驱动体分别连接到多个下部支撑部件以单独地上升和下降，且上部台和下部台配置成彼此相邻，其中通过操作下部驱动单元来使下部台上升。

多个下部支撑部件可配置于下部台下方以支撑下部台的不同边缘。

设备可进一步包含：多个测压元件，分别安装到多个下部支撑部件以分别测量下部台的负载，所述下部台由多个下部支撑部件支撑；以及下部控制单元，经组态成通过使用由多个测压元件测量的多个负载值之间的差来提升多个下部驱动体中的每一个。

下部驱动单元可进一步包含：下部支撑件，具有板形状，装设为面向下部台，且具有多个下部支撑部件安装到的上部部分以及多个下部驱动体安装到的下部部分；以及多个下部驱动源，分别连接到多个下部驱动体以提升多个下部驱动体中的每一个，且下部支撑件可具有根据多个下部驱动体中的每一个的升降操作来调整的倾斜度。

多个下部支撑部件可包含垂直布置的上部轴和下部轴，且测压元件可装设在上部轴与下部轴之间。