[发明专利]一种微流控系统及其制备方法

权利要求书

1.一种微流控系统，其特征在于，包括：

底座；

衬底，所述衬底设置在所述底座上，并且所述衬底上设置有入口、出口以及分别连通所述入口和所述出口的微流通道；

微流泵，所述微流泵设置在所述衬底上，并与所述微流通道相连，以将流体经由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口处；

流量检测组件，所述流量检测组件设置在所述衬底上，所述流量检测组件与所述微流通道相对应，以检测所述微流通道内的流体流量。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述流量检测组件包括至少一个测温电阻，所述测温电阻设置在所述微流通道背离所述底座的一侧，用以根据所述微流通道内的流体引起测温电阻的温度变化检测所述微流通道内的流体流量；

所述流量检测组件还包括至少一个加热电阻，所述加热电阻设置在所述微流通道背离所述底座的一侧，所述加热电阻位于所述测温电阻的一侧。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述流量检测组件包括两个测温电阻，分别为第一测温电阻和第二测温电阻，其中，

所述第一测温电阻设置在所述加热电阻沿流体流动方向的一侧，所述第二测温电阻设置在所述加热电阻沿流体流动方向的另一侧。

4.根据权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，所述微流泵包括：

泵主体，所述泵主体插置在所述微流通道中，且所述泵主体内设置有泵腔，所述泵腔与所述微流通道连通；

压电组件，所述压电组件包括第一电极、第二电极以及夹设在所述第一电极和所述第二电极之间的压电膜片，所述第一电极设置在所述泵主体背离所述底座的一侧。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，

在所述流量检测组件包括测温电阻和加热电阻时，所述第二电极与所述测温电阻或加热电阻材料相同。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述微流泵还包括第一阀片、第一挡板、第二阀片和第二挡板；其中，

所述第一阀片和所述第一挡板设置在所述泵腔靠近所述入口的一侧，且所述第一挡板比所述第一阀片更加靠近所述入口；

所述第二阀片和所述第二挡板设置在所述泵腔靠近所述出口的一侧，且所述第二阀片比所述第二挡板更加靠近所述出口。

7.根据权利要求1至3任一项所述的系统，其特征在于，所述衬底上设置有多个入口，所述系统还包括混合腔，所述混合腔插置在所述微流通道中，且所述混合腔分别连通所述多个入口和所述微流通道。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述系统还包括第一加热件和/或第二加热件，其中，

所述第一加热件设置在所述混合腔背离所述底座的一侧，所述第二加热件设置在所述出口处。

9.一种微流控系统的制备方法，其特征在于，包括：

提供衬底和底座，所述衬底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面；

在所述衬底的第一表面采用同步构图工艺形成流量检测组件和微流泵中的压电组件；

在所述衬底的第一表面形成入口、出口以及在所述衬底的第二表面形成微流通道以及所述微流泵的泵腔，所述微流通道分别与所述入口、所述出口以及所述泵腔相连；

将所述衬底的第二表面与所述底座键合，制备得到所述微流控系统。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述衬底的第一表面采用同步构图工艺形成流量检测组件和微流泵中的压电组件，包括：

在所述衬底的第一表面依次形成第一电极层和压电层，并图形化所述第一电极层和所述压电层，形成第一电极和压电膜片；

在所述衬底的第一表面和所述压电膜片的表面形成第二电极层，并图形化所述第二电极层，形成第二电极、加热电阻和测温电阻；其中，

所述第一电极、所述压电膜片和所述第二电极形成所述压电组件，所述加热电阻和所述测温电阻形成所述流量检测组件。