[发明专利]一种微流控系统及其制备方法

说明书

本公开提供一种微流控系统及其制备方法中，系统包括：底座；衬底，所述衬底设置在所述底座上，并且所述衬底上设置有入口、出口以及分别连通所述入口和所述出口的微流通道；微流泵，所述微流泵设置在所述衬底上，并与所述微流通道相连，以将流体经由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口处；流量检测组件，所述流量检测组件设置在所述衬底上，所述流量检测组件与所述微流通道相对应，以检测所述微流通道内的流体流量。本公开实施例的一种微流控系统，将微流通道、微流泵、流量检测组件等均集成到同一衬底上，得到了使样品的注入、预处理、控制等功能结合在一起的集成芯片，实现了微流控分析系统的微型化。

技术领域

本公开属于传感器和执行器技术领域，具体涉及一种微流控系统及其制备方法。

背景技术

微流控系统及其相关的微机械制造技术，是MEMS研究的一个活跃领域。微流控系统包括微通道、微传感器、微泵、微阀等，它通过在微流道中对流体进行操控，实现特定的分析功能。微流控系统与其它微系统一样，具有集成化和批量生产的特点，因其具有尺寸小的特点，可以减小流动系统中的无效体积，降低能耗和实际用量，响应速度较快。微流控系统广泛应用于生化分析检、IC器件冷却、体内治疗试剂释放、微型飞行器推进系统、芯片实验室(Lab On a Chip)、PCR芯片、喷墨打印机喷头等流体系统。其中，微流控生物芯片(Biochjp)技术是近十几年逐步发展起来的，它是生物技术和微细加工技术相结合的一门新技术，它利用 MEMS技术在硅、玻璃以及聚合物等基片上制作了功能完备、价格低廉、携带方便的微流通沟道，将样品处理、检测、分析及结果输出功能集成为一体，构成一个微型的片上生物实验室，可以完成体液分析、DNA成分分析等诸多功能。

微泵是微流控分析技术的核心。在微流量控制系统中，微泵是驱动流体克服阻力产生流动的执行器件，是系统的核心控制元件之一，是实现微流体控制系统的前提和基础，微泵的发展水平直接影响到微流控分析系统的整体性能。微流体特性及微泵的研究是微流控系统研究的热点之一，其流量范围从nl/min到ml/min

量级，并以小流量微泵研究居多。目前的研究大多数是通过注射泵、液压或气压来驱动生物样品，其结果是系统设备庞大，不易实现微型化和集成化，尤其在医疗微量给药领域，急需价格便宜的微型一次性给药模组。

发明内容

本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种微流控系统及其制备方法。

本公开的一个方面，提供了一种微流控系统，包括：

底座；

衬底，所述衬底设置在所述底座上，并且所述衬底上设置有入口、出口以及分别连通所述入口和所述出口的微流通道；

微流泵，所述微流泵设置在所述衬底上，并与所述微流通道相连，以将流体经由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口处；

流量检测组件，所述流量检测组件设置在所述衬底上，所述流量检测组件与所述微流通道相对应，以检测所述微流通道内的流体流量。

可选的，所述流量检测组件包括至少一个测温电阻，所述测温电阻设置在所述微流通道背离所述底座的一侧，用以根据所述微流通道内的流体引起测温电阻的温度变化检测所述微流通道内的流体流量；

所述流量检测组件还包括至少一个加热电阻，所述加热电阻设置在所述微流通道背离所述底座的一侧，所述加热电阻位于所述测温电阻的一侧。

可选的，所述流量检测组件包括两个测温电阻，分别为第一测温电阻和第二测温电阻，其中，

所述第一测温电阻设置在所述加热电阻沿流体流动方向的一侧，所述第二测温电阻设置在所述加热电阻沿流体流动方向的另一侧。

可选的，所述微流泵包括：

泵主体，所述泵主体插置在所述微流通道中，且所述泵主体内设置有泵腔，所述泵腔与所述微流通道连通；