[发明专利]一种MEMS扬声器及其制造工艺

权利要求书

1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：

基底，所述基底具有内壁，所述内壁围合形成空腔；

活塞板，所述活塞板活动设置在所述空腔内，所述活塞板与所述基底的内壁间隔设置；

驱动组件，所述驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板在所述空腔内做往复运动；

以及柔性导向件，所述柔性导向件和所述活塞板形成一体化结构，且所述柔性导向件与所述基底的内壁固定以进一步固定所述活塞板，所述柔性导向件用于对所述活塞板起导向作用，用于使所述活塞板沿预设路径运动，所述柔性导向件为多个且均匀间隔设置于活塞板的周边。

2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述空腔为圆柱形腔体，所述柔性导向件和所述活塞板共同形成圆板状结构，所述柔性导向件为弧形结构。

3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述空腔沿垂直于所述活塞板运动方向的截面呈多边形，所述一体化结构为多边形板状结构，所述柔性导向件选自长条形结构、工字型结构、蛇形结构和U字型结构、锯齿形结构和S形结构中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性导向件位于所述多边形板状结构的至少一条边上，和/或所述柔性导向件位于所述多边形板状结构的至少一个角部。

5.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述活塞板与所述基底之间的距离不大于0.1mm。

6.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述活塞板的厚度大于所述柔性导向件的厚度，在所述柔性导向件和所述活塞板之间形成有台阶。

7.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述基底具有与所述空腔连通的缺口，所述柔性导向件设置在所述活塞板的边缘，所述活塞板紧邻所述空腔的内壁，所述柔性导向件收容在所述缺口内。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动组件包括振膜和活塞板连杆，所述振膜设置在所述空腔内，且与所述活塞板相对设置，所述活塞板连杆连接在振膜和所述活塞板之间，所述振膜用于产生动力使所述活塞板连杆运动，从而驱使所述活塞板运动。

9.根据权利要求8所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振膜和所述活塞板连杆通过弹性连接件固定连接。

10.根据权利要求8所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振膜包括层叠设置的压电层和结构层，所述压电层为三层结构且包括电极材料层和位于所述电极材料层之间的压电材料层。