[发明专利]一种MEMS扬声器及其制造工艺

说明书

本发明提供了一种MEMS扬声器及其制造工艺，该MEMS扬声器包括基底、活塞板、驱动组件以及柔性导向件，该基底形成有空腔，该活塞板活动设置在空腔内，驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板沿着所述空腔做往复运动，柔性导向件和所述活塞板形成一体化结构，且所述柔性导向件设置在所述基底和所述活塞板之间，用于使所述活塞板沿预设路径运动。本发明由于柔性导向件和活塞板形成一体化结构，使得MEMS扬声器在结构上更为简单，并且柔性导向件和活塞板可以同步成型，还有利于简化制造工艺。

【技术领域】

本发明涉及扬声器技术领域，尤其涉及一种扬声器及其制造工艺。

【背景技术】

MEMS扬声器是基于MEMS工艺平台所设计出的一种微型扬声器，具有结构小巧、功耗低等优势。

MEMS扬声器主要有两种主流形式，一种是振膜振动发声式，另一种则是活塞式。对于第一种MEMS扬声器而言，其通过振膜的振动来发出声音，对于第二种MEMS扬声器而言，其通过驱动器驱动活塞板往复运动来发声，这种形式的MEMS扬声器将传统的振膜的抛物线形变形转变为活塞板的上下往复运动，以提高活塞推空气的体积，优化发声品质。

针对第二种MEMS扬声器来说，在活塞板运动的过程中需要保证活塞板具有一定的稳定性和可靠性，因此相关技术中有一些MEMS扬声器通过将弹性件连接到活塞板上，利用弹性件的弹性作用来规范活塞板的运动行程，但弹性件和活塞板是两个独立的部件，由此会造成MEMS扬声器在结构上趋于复杂，而且MEMS扬声器的制造工艺也会变得繁琐。

因此，有必要提供一种结构简单、工艺简单的MEMS扬声器。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种MEMS扬声器及其制造工艺，能够在保证稳定和可靠的条件下，实现简化结构和简化制造工艺的目的。

本发明的技术方案如下：

根据第一方面，一种实施例中提供了一种MEMS扬声器，包括：

基底，所述基底具有内壁，所述内壁围合形成空腔；

活塞板，所述活塞板活动设置在所述空腔内，所述活塞板与所述基底的内壁间隔设置；

驱动组件，所述驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板在所述空腔内做往复运动；

以及柔性导向件，所述柔性导向件和所述活塞板形成一体化结构，且所述柔性导向件与所述基底的内壁固定以进一步固定所述活塞板。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述柔性导向件为多个且均匀间隔设置于活塞板的周边。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述空腔为圆柱形腔体，所述柔性导向件和所述活塞板共同形成圆板状结构，所述柔性导向件为弧形结构。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述空腔沿垂直于所述活塞板运动方向的截面呈多边形，所述一体化结构为多边形板状结构，所述柔性导向件选自长条形结构、工字型结构、蛇形结构和U字型结构、锯齿形结构和S形结构中的至少一种。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述柔性导向件位于所述多边形板状结构的至少一条边上，和/或所述柔性导向件位于所述多边形板状结构的至少一个角部。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述活塞板与所述基底之间的距离不大于0.1mm。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述活塞板的厚度大于所述柔性导向件的厚度，在所述柔性导向件和所述活塞板之间形成有台阶。

在所述MEMS扬声器的一些实施例中，所述基底具有与所述空腔连通的缺口，所述柔性导向件设置在所述活塞板的边缘，所述活塞板紧邻所述空腔的内壁，所述柔性导向件收容在所述缺口内。