[发明专利]一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法

权利要求书

1.一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：包括夹紧机构(1)、保护机构(2)、测温机构(3)和底座(4)，所述保护机构(2)固定设置在所述底座(4)内部，所述夹紧机构(1)固定设置在所述底座(4)上端，所述测温机构(3)固定设置在所述夹紧机构(1)下方；其中：

所述保护机构(2)包括两个对称设置的充气组件(21)，所述充气组件(21)包括固定板(22)、下压杆(23)、移动杆(24)、充气筒(25)、气压杆(26)和气囊(27)，所述底座(4)底端内壁上开设有活动槽，所述固定板(22)的两端均固定安装在所述底座(4)的内壁上，所述固定板(22)上开设有滑动槽(221)，所述移动杆(24)的两端分别设有第一滑块(241)与第二滑块(242)，所述第一滑块(241)可滑动地安装在所述滑动槽(221)内，所述第二滑块(242)可滑动地安装在所述活动槽内，所述移动杆(24)上开设有移动槽(243)，所述下压杆(23)贯通所述固定板(22)，所述下压杆(23)的底端固定安装有第三滑块(231)，所述第三滑块(231)可滑动地安装在所述移动槽(243)内，所述充气筒(25)固定设置在所述底座(4)上，所述充气筒(25)远离所述移动杆(24)的一端开设有出气口(251)，所述气囊(27)固定连接至所述出气口(251)，所述固定板(22)上还开设有连通孔(222)，所述气囊(27)穿过所述连通孔(222)设置在所述底座(4)内，所述气压杆(26)为T型结构，所述气压杆(26)的一端固定安装在所述移动杆(24)上，所述气压杆(26)的另一端可滑动地设置在所述充气筒(25)内。

2.如权利要求1所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述夹紧机构(1)包括两个对称设置的夹紧部(11)，所述夹紧部(11)包括滑框(12)、滑动板(13)、连接杆(14)、转盘(15)和中心块(16)，所述滑框(12)的两端通过连杆固定设置在所述测温机构(3)上端，所述滑动板(13)的底端通过滑块可滑动地安装在所述滑框(12)上，所述中心块(16)固定设置在所述滑框(12)中部，所述转盘(15)为菱形结构，所述转盘(15)固定设置在第一连杆(17)上，所述第一连杆(17)的底端可转动地安装在所述中心块(16)上，所述连接杆(14)的一端可转动地设置在第二连杆(18)上，所述第二连杆(18)的底端固定设置在所述中心块(16)上，所述连接杆(14)的另一端可转动地设置在第三连杆(19)上，所述第三连杆(19)的底端固定设置在所述滑动板(13)上。

3.如权利要求1所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述测温机构(3)包括驱动电机(31)、固定座(32)、第一支撑板(33)、第二支撑板(34)、转动杆(35)、转动圆盘、第四滑块(37)、第五滑块(38)、第一圆杆(39)和第二圆杆(310)，所述固定座(32)通过连杆与滑框(12)相连接，所述固定座(32)的中部设有活动腔(321)，所述第一支撑板(33)的底端固定设置在所述固定座(32)的一端，所述第二支撑板(34)的底端固定设置在所述固定座(32)的另一端，所述转动杆(35)的两端可转动地设置在所述第一支撑板(33)与所述第二支撑板(34)上，所述转动杆(35)上设有第一螺纹段(351)与第二螺纹段(352)，所述第四滑块(37)与所述第一螺纹段(351)相配合，所述第五滑块(38)与所述第二螺纹段(352)相配合，所述第四滑块(37)的底端固定设有第一固定杆(371)，所述第一圆杆(39)的一端可转动地与所述第一固定杆(371)相连接，所述第一圆杆(39)的另一端可转动地设置在所述转动圆盘上端，所述第五滑块(38)的底端固定设有第二固定杆(381)，所述第二圆杆(310)的一端可转动地与所述第二固定杆(381)相连接，所述第二圆杆(310)的另一端可转动地设置在所述转动圆盘上端，所述转动圆盘上设有用于放置测温管的卡接槽(361)，所述驱动电机(31)固定设置在所述固定座(32)的一端，所述驱动电机(31)的输出端与所述转动杆(35)轴性连接。

4.如权利要求3所述的一种半导体石墨坩埚测温设备，其特征在于：所述第一螺纹段(351)与所述第二螺纹段(352)螺纹方向相反。