[发明专利]一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法

说明书

本发明公开了一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法，包括夹紧机构、保护机构、测温机构和底座，所述保护机构固定设置在所述底座内部，所述夹紧机构固定设置在所述底座上端，所述测温机构固定设置在所述夹紧机构下方；本发明还公开了一种半导体石墨坩埚测温设备的测温方法。本发明的有益效果是：本发明设计的下压杆在受到坩埚的挤压后，会向下运动带动移动杆运动，进一步可以带动气压杆移动，从而对气囊进行充气，从而可以对坩埚进行固定和保护，可以适应不同大小的坩埚，本发明设计的第四滑块与第五滑块在转动杆转动时会做相向运动，从而会带动转动圆盘转动，从而可以带动测温管对坩埚内部各个位置进行测温。

技术领域

本发明属于半导体石墨技术领域，具体涉及一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法。

背景技术

石墨坩埚以天然鳞片石墨为主体原料，以可塑性耐火粘土或炭质为粘结剂加工而成，具有耐高温、导热性能强、抗腐蚀性能好，使用寿命长等特点。在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急冷、急热具有一定抗应变性能。对酸性、碱性溶液抗蚀性较强，具有优良的化学稳定性，在熔炼过程中不参与任何化学反应。石墨坩埚内壁平滑，被熔化的金属液体不易渗漏和粘附在坩埚内壁，使金属液体有良好的流动性和浇铸性，适用于各种不同模具浇铸成型。由于石墨坩埚具有以上优良特性，被广泛用于合金工具钢冶炼和有色金属及其合金的冶炼。

现有技术中的石墨坩埚测温设备，大多采用热电偶测温仪和红外线测温仪，其中热电偶测温仪因其传感器部件较长，操作不方便，且其测温部件之间接触坩埚溶液，使用一段时间后，灵敏度会出现较大降低，测温元件也易损坏，而红外线测温仪由于本身内部电气元件设置不合理，红外摄像头经过测温后，需经过多道程序才能到达控制器，然后传输到显示屏，实际操作也不方便，并且，现有技术的测温设备大多数只是对坩埚表体温度进行测定，没有对坩埚内部温度进行测量，测量温度时，大多也只是多坩埚一点进行测量，无法做到多点测量。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体石墨坩埚测温设备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种半导体石墨坩埚测温设备，包括夹紧机构、保护机构、测温机构和底座，所述保护机构固定设置在所述底座内部，所述夹紧机构固定设置在所述底座上端，所述测温机构固定设置在所述夹紧机构下方；其中：

所述保护机构包括两个对称设置的充气组件，所述充气组件包括固定板、下压杆、移动杆、充气筒、气压杆和气囊，所述底座底端内壁上开设有活动槽，所述固定板的两端均固定安装在所述底座的内壁上，所述固定板上开设有滑动槽，所述移动杆的两端分别设有第一滑块与第二滑块，所述第一滑块可滑动地安装在所述滑动槽内，所述第二滑块可滑动地安装在所述活动槽内，所述移动杆上开设有移动槽，所述下压杆贯通所述固定板，所述下压杆的底端固定安装有第三滑块，所述第三滑块可滑动地安装在所述移动槽内，所述充气筒固定设置在所述底座上，所述充气筒远离所述移动杆的一端开设有出气口，所述气囊固定连接至所述出气口，所述固定板上还开设有连通孔，所述气囊穿过所述连通孔设置在所述底座内，所述气压杆为T型结构，所述气压杆的一端固定安装在所述移动杆上，所述气压杆的另一端可滑动地设置在所述充气筒内。

更优地，所述夹紧机构包括两个对称设置的夹紧部，所述夹紧部包括滑框、滑动板、连接杆、转盘和中心块，所述滑框的两端通过连杆固定设置在所述测温机构上端，所述滑动板的底端通过滑块可滑动地安装在所述滑框上，所述中心块固定设置在所述滑框中部，所述转盘为菱形结构，所述转盘固定设置在第一连杆上，所述第一连杆的底端可转动地安装在所述中心块上，所述连接杆的一端可转动地设置在第二连杆上，所述第二连杆的底端固定设置在所述中心块上，所述连接杆的另一端可转动地设置在第三连杆上，所述第三连杆的底端固定设置在所述滑动板上。