[发明专利]具有电容连接垫的半导体结构与电容连接垫的制作方法

权利要求书

1.一种接触结构，用于电连接动态随机存取存储器单元中的电容与晶体管，包含：

电容连接垫，包含：

第一部件，包含一第一底面；

第二部件，包含一第一顶面和一第二底面，其中该第一底面接触该第一顶面，该第一底面的面积小于该第一顶面的面积；以及

电容接触插塞，其中该第二部件位于该第一部件和该电容接触插塞之间，该电容接触插塞包含一第二顶面，该第二顶面接触该第二底面，该第二顶面的面积小于该第二底面的面积。

2.如权利要求1所述的接触结构，其中该第一部件和该电容接触插塞交错。

3.如权利要求2所述的接触结构，其中在正投影方向上该第一底面完全不重叠该第二顶面。

4.如权利要求1所述的接触结构，其中该第一底面的面积大于该第二顶面的面积。

5.如权利要求4所述的接触结构，其中在正投影方向上该第二顶面仅部分重叠该第一底面。

6.如权利要求1所述的接触结构，还包含一电容接触该电容连接垫。

7.如权利要求1所述的接触结构，其中该第一顶面和该第二底面相对并且具有相同形状。

8.如权利要求1所述的接触结构，还包含：

晶体管，电连接该电容接触插塞；以及

电容，电连接该电容连接垫。