[发明专利]蒸镀掩膜版及显示面板在审
申请号: | 202010676472.4 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111676447A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 张浩瀚;李彦松;白珊珊;刘佳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩膜版 显示 面板 | ||
1.一种蒸镀掩膜版,其特征在于,设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间;所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物;所述蒸镀掩膜版包括:
掩膜版本体,包括多个蒸镀开口以及位于所述蒸镀开口周边的遮挡部;所述遮挡部具有远离所述蒸镀源的第一表面;
多个支撑部,设置于所述第一表面上,至少两个支撑部与所述第一表面形成用于容纳所述隔垫物的容纳腔;所述支撑部用于与所述待蒸镀基板相接触,并支撑所述掩膜版本体,使得所述第一表面与所述隔垫物之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,一个所述支撑部绕一个所述蒸镀开口的周边设置。
3.根据权利要求2所述的掩膜版,其特征在于,所述支撑部包括多个第一支撑条;所述第一支撑条朝远离所述第一表面的方向凸起;所述多个第一支撑条依次首尾相接形成框架结构。
4.根据权利要求3所述的掩膜版,其特征在于,所述蒸镀开口包括多个开口侧壁;
在所述蒸镀开口周边的所述支撑部中,一个所述第一支撑条位于所述蒸镀开口的一个开口侧壁的一侧,且与所述开口侧壁平行。
5.根据权利要求3或4所述的掩膜版,其特征在于,所述掩膜版还包括多个第二支撑条,所述第二支撑条设置于所述第一表面上,用于将相邻两个所述支撑部相连接。
6.根据权利要求5所述的掩膜版,其特征在于,
所述第一支撑条的高度与所述第二支撑条的高度相同;所述第一支撑条的壁厚与所述第二支撑条的壁厚相同。
7.根据权利要求2所述的掩膜版,其特征在于,每个所述支撑部包括多个间隔设置的支撑块。
8.根据权利要求1所述的掩膜版,其特征在于,所述支撑部的高度H的范围为2um<H≤5um。
9.一种显示面板,其特征在于,包括TFT背板以及设置于所述TFT背板上的像素界定层;其中,所述像素界定层包括多个开口部以及位于所述开口部周边的挡墙;
所述显示面板还包括设置于所述开口部内的有机功能层、以及设置于所述挡墙远离所述TFT背板一侧表面的隔垫物;所述有机功能层的至少一部分采用如权利要求1-8任一项所述的蒸镀掩膜版进行蒸镀;
所述显示面板还包括设置在所述挡墙与所述隔垫物之间的金属层,且覆盖所述挡墙;所述金属层远离所述TFT背板的一侧表面与支撑部相接触。
10.根据权利要求9所述的显示面板,其特征在于,所述金属层的厚度范围为0.2um~0.5um。
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