[发明专利]蒸镀掩膜版及显示面板在审
申请号: | 202010676472.4 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111676447A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 张浩瀚;李彦松;白珊珊;刘佳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩膜版 显示 面板 | ||
本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版及显示面板,涉及显示技术领域,可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜版划伤的问题,该蒸镀掩膜版设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间;所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物;所述蒸镀掩膜版包括:掩膜版本体,所述掩膜版本体包括多个蒸镀开口以及位于所述蒸镀开口周边的遮挡部;所述遮挡部具有远离所述蒸镀源的第一表面;所述蒸镀掩膜版还包括多个支撑部,所述多个支撑部设置于所述第一表面上,至少两个支撑部与所述第一表面形成用于容纳所述隔垫物的容纳腔;所述支撑部用于与所述待蒸镀基板相接触,并支撑所述掩膜版本体,使得所述第一表面与所述隔垫物之间具有间隙。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种蒸镀掩膜版及显示面板。
背景技术
目前,电致发光显示面板由于具有自发光、低功耗、宽视角、响应速度快以及高对比度等优点,因而广泛应用于手机、电视、笔记本电脑等智能产品中。此外,电致发光显示面板由于具有质量轻、厚度薄以及抗弯折性能的特点,因此成为目前国内外众多学者的研究重点。
发明内容
本申请的实施例提供一种蒸镀掩膜版及显示面板,可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜版划伤的问题。
为达到上述目的,本申请的实施例采用如下技术方案:
一方面、提供一种蒸镀掩膜版,该蒸镀掩膜版设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间;所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物;所述蒸镀掩膜版包括:掩膜版本体,所述掩膜版本体包括多个蒸镀开口以及位于所述蒸镀开口周边的遮挡部;所述遮挡部具有远离所述蒸镀源的第一表面;所述蒸镀掩膜版还包括多个支撑部,所述多个支撑部设置于所述第一表面上,至少两个支撑部与所述第一表面形成用于容纳所述隔垫物的容纳腔;所述支撑部用于与所述待蒸镀基板相接触,并支撑所述掩膜版本体,使得所述第一表面与所述隔垫物之间具有间隙。
在一些实施例中,一个所述支撑部绕一个所述蒸镀开口的周边设置。
在一些实施例中,所述支撑部包括多个第一支撑条;所述第一支撑条朝远离所述第一表面的方向凸起;所述多个第一支撑条依次首尾相接形成框架结构。
在一些实施例中,其特征在于,所述蒸镀开口包括多个开口侧壁;在所述蒸镀开口周边的所述支撑部中,一个所述第一支撑条位于所述蒸镀开口的一个开口侧壁的一侧,且与所述开口侧壁平行。
在一些实施例中,所述掩膜版还包括多个第二支撑条,所述第二支撑条设置于所述第一表面上,用于将相邻两个所述支撑部相连接。
在一些实施例中,所述第一支撑条的高度与所述第二支撑条的高度相同;所述第一支撑条的壁厚与所述第二支撑条的壁厚相同。
在一些实施例中,每个所述支撑部包括多个间隔设置的支撑块。
在一些实施例中,所述支撑部的高度H的范围为2um<H≤5um。
另一方面、提供一种显示面板,该显示面板包括TFT背板以及设置于所述TFT背板上的像素界定层;其中,所述像素界定层包括多个开口部以及位于所述开口部周边的挡墙;所述显示面板还包括设置于所述开口部内的有机功能层、以及设置于所述挡墙远离所述TFT背板一侧表面的隔垫物;所述有机功能层的至少一部分采用如上述的蒸镀掩膜版进行蒸镀;所述显示面板还包括设置在所述挡墙与所述隔垫物之间的金属层,且覆盖所述挡墙;所述金属层远离所述TFT背板的一侧表面与支撑部相接触。
在一些实施例中,所述金属层的厚度范围为0.2um~0.5um。
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