[发明专利]一种氟化钇薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010681953.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113753938A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈如明;姜蕻;蔡勇 | 申请（专利权）人： | 英迪那米（徐州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/265 | 分类号： | C01F17/265;C01F17/10 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 徐小淇 |
| 地址： | 221600 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05-1:3.75混合均匀，在研钵中研磨发生固相反应，反应完全后得到胶状物；
步骤2：将胶状物转移至耐高温坩埚中，置于烘箱中干燥3-22h，得到胶态物质；
步骤3：将胶态物质置于高温炉中，保温1-4h；
步骤4：胶态物质随炉冷却至室温后取出，研磨得到粉末；
步骤5：将粉末在惰性气体保护下,350-450℃下保温4-5.5h，得到纳米级粉末；
步骤6：将纳米级粉末采取浸渍提拉法或旋转涂覆法制膜；
步骤7：将湿膜在室温下晾15-25min，再置于干燥箱中烘干，自然冷却至室温，得到薄膜；
步骤8：将薄膜放入高温炉中进行退火处理，随炉冷却后得到氟化钇薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤1中，对水合硝酸钇、氟化铵混合搅拌的时间为4-20h。
3.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤2中，将耐高温坩埚的炉温按2-8℃/min的升温速率从室温升至350-450℃。
4.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤5中，惰性气体为氮气或氩气。
5.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤7中，烘干温度为95-100℃。
6.根据权利要求1所述的一种氟化钇薄膜的制备方法，其特征在于：在步骤8中，高温炉按3-10℃/min的升温速率从室温升至300-500℃，保温1-4h。
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