[发明专利]位置调整装置以及超精密加工机

权利要求书

1.一种位置调整装置，是调整支撑对象物的高度的位置调整装置，其特征在于，具备：

固定部；

移动部，其设为能够相对于上述固定部在高度方向上移动，且支撑上述支撑对象物；

伸缩部，其与上述固定部和上述移动部连结，且在上述高度方向上伸缩；

调整机构，其调整上述移动部相对于上述固定部的上述高度方向的位置；以及

金属部件，其固定于上述固定部及上述移动部。

2.根据权利要求1所述的位置调整装置，其特征在于，

上述金属部件在材料中含有减振合金。

3.根据权利要求1或2所述的位置调整装置，其特征在于，

在上述金属部件形成有第一贯通孔和第二贯通孔，

上述第一贯通孔和上述第二贯通孔的至少一方是在与上述高度方向正交的方向上贯通而且沿上述高度方向延伸的长孔，

在上述固定部形成有与上述第一贯通孔连通的第一插入孔，

在上述移动部形成有第二插入孔，当上述第一贯通孔以及上述第一插入孔连通时，该第二插入孔与上述第二贯通孔连通，

上述位置调整装置还具备：插入到上述第一贯通孔及上述第一插入孔来紧固上述固定部与上述金属部件的第一紧固部件；以及插入到上述第二贯通孔及上述第二插入孔来紧固上述移动部与上述金属部件的第二紧固部件。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的位置调整装置，其特征在于，

上述伸缩部是弹簧。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的位置调整装置，其特征在于，

上述固定部与上述移动部在上述高度方向上相互分离，

上述调整机构设置在上述移动部与上述固定部之间，

上述伸缩部设置在上述固定部的侧方。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的位置调整装置，其特征在于，

上述固定部与上述移动部在上述高度方向上相互分离，

上述调整机构具有：与上述移动部和上述固定部接触的楔状的滑动部件；以及通过操作来使上述滑动部件沿与上述高度方向正交的滑动方向滑动移动的操作部，

上述移动部以及上述固定部的任一方是与上述滑动部件接触的面，并具有高度沿上述滑动方向变化的倾斜面。

7.根据权利要求6所述的位置调整装置，其特征在于，

上述伸缩部设置在上述滑动方向上的上述固定部的两侧方。

8.根据权利要求7所述的位置调整装置，其特征在于，

上述滑动部件在上述滑动方向上设置在上述伸缩部彼此之间，上述伸缩部设置在上述固定部的两侧方。

9.根据权利要求6所述的位置调整装置，其特征在于，

上述滑动部件具有第一上述滑动部件和第二上述滑动部件，该第一上述滑动部件和第二上述滑动部件设为在上述滑动方向上相互对称，而且根据上述操作部被操作的情况而在上述滑动方向上相互对称地滑动移动，

上述倾斜面具有：与第一上述滑动部件接触的第一上述倾斜面；以及在上述滑动方向上与第一上述倾斜面对称地倾斜，且与第二上述滑动部件接触的第二上述倾斜面。

10.根据权利要求9所述的位置调整装置，其特征在于，

上述伸缩部设置在第一上述滑动部件与第二上述滑动部件之间。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的位置调整装置，其特征在于，

上述移动部还具有倾斜度调整机构，该倾斜度调整机构用于调整所支撑的上述支撑对象物的倾斜度。

12.一种超精密加工机，是按照100nm以下的指令对加工对象物进行加工的超精密加工机，其特征在于，

具备权利要求1～11中任一项所述的位置调整装置。