[发明专利]位置调整装置以及超精密加工机

说明书

本发明提供一种位置调整装置以及超精密加工机。调整支撑对象物(12)的高度的位置调整装置(10)具备：固定部(22)；移动部(24)，其设为能够相对于固定部(22)在高度方向上移动且支撑支撑对象物(12)；伸缩部(26)，其与固定部(22)和移动部(24)连结且在高度方向上伸缩；调整机构(28)，其调整移动部(24)相对于固定部(22)的高度方向的位置；以及金属部件(16)，其固定于固定部(22)及移动部(24)。

技术领域

本发明涉及对支撑对象物的位置至少调整高度的位置调整装置以及超精密加工机。

背景技术

在实用新型注册第3112302号公报中，公开的夹具具备：载置于作业台的下半部16；支撑作为支撑对象物的切断物的上半部15；以及连接下半部16和上半部15的弧形连接部17。公开的夹具通过在上半部15与弧形连接部17连接的状态下对下半部16调整位置，从而能够调整支撑于上半部15的支撑对象物的位置。

发明内容

用于调整支撑对象物的位置的装置一般具有连结多个零件的构造。该构造中，负荷容易集中在零件彼此的连结部分，在刚性的观点上容易产生问题。例如，对于实用新型注册第3112302号公报的夹具而言，以从下半部16浮起的方式调整上半部15的位置后，将支撑对象物载置于上半部15。此时，由于负荷集中于上半部15以及弧形连接部17，因而上半部15以及弧形连接部17容易歪斜。该情况下，难以利用实用新型注册第3112302号公报的夹具来进行良好地进行支撑对象物的定位。

另外，在支撑对象物为工具的情况，该工具在实行加工的过程中进行振动。此时，若在工具与支撑该工具的装置之间引起共振，则还会产生加工的精度恶化之类的问题。

因此，本发明的目的在于提供一种刚性以及振动的衰减性良好的位置调整装置以及超精密加工机。

发明的一个方式是调整支撑对象物的高度的位置调整装置，其特征在于，具备：固定部；移动部，其设为能够相对于上述固定部在上述高度方向上移动，且支撑上述支撑对象物；伸缩部，其与上述固定部和上述移动部连结，且在上述高度方向上伸缩；调整机构，其调整上述移动部相对于上述固定部的上述高度方向的位置；以及金属部件，其固定于上述固定部及上述移动部。

发明的另一个方案是按照100nm以下的指令对加工对象物进行加工的超精密加工机，其特征在于，具备上述態様的位置调整装置。

根据本发明，提供刚性以及振动的衰减性良好的位置调整装置以及超精密加工机。

上述的目的、特征以及优点根据参照添加的附图说明的以下的实施方式的说明可容易了解。

附图说明

图1是第一实施方式的位置调整装置的立体图。

图2是第一实施方式的位置调整装置的分解图。

图3是第一实施方式的位置调整装置的主体的侧视图。

图4是具备位置调整装置的超精密加工机的示意图。

图5是变形例1－1的位置调整装置的分解图。

图6是变形例1－1的位置调整装置的主体的侧视图。

图7是变形例1－5的位置调整装置的主体的侧视图。

图8是第二实施方式的位置调整装置的立体图。

图9是第二实施方式的位置调整装置的分解图。

图10是第二实施方式的位置调整装置的主体的侧视图。

图11是变形例2－1的位置调整装置的主体的侧视图。

图12是变形例2－2的位置调整装置的主体的侧视图。