[发明专利]一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法

权利要求书

1.一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，其特征在于，包括：

将原始gds文件进行数字化处理和仿真，得到能量分布图；

利用阈值法将所述能量分布图转换为二值图；

根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减；

将完成像素加减后的所述二值图转化为gds文件。

2.如权利要求1所述的基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，其特征在于，将原始gds文件进行数字化处理和仿真，得到能量分布图，包括：

将原始gds文件进行数字化处理后，利用光学模型对得到的数字图像进行仿真，同时按照设定步长，利用能量求和法对得到的单个光斑的激光直写能量分布进行叠加，得到完整的能量分布图。

3.如权利要求1所述的基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，其特征在于，根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减，包括：

根据所述二值图上的角和边上指定点位置得到对应的角能量判定点和边能量判定点，并将所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与能量阈值进行比较。

4.如权利要求3所述的基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，其特征在于，根据所述二值图上的能量判定点对应能量值，对所述二值图进行像素加减，还包括：

若所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值小于所述能量阈值，则在对应的所述角能量判定点或所述边能量判定点增加指定像素值，直至所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等；

若所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值大于所述能量阈值，则在对应的所述角能量判定点或所述边能量判定点减少指定像素值，直至所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等。

5.如权利要求4所述的基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，其特征在于，将完成像素加减后的所述二值图转化为gds文件，包括：

将所述角能量判定点或所述边能量判定点的对应能量值与所述能量阈值相等后的对应的所述二值图转化为gds文件，并进行保存。